[实用新型]溅镀降温的载具有效
| 申请号： | 201020186650.7 | 申请日： | 2010-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN201713570U | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 刘启志;王小龙 | 申请（专利权）人： | 上海承哲光电科技有限公司;柏腾科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 降温 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅镀降温的载具，其特征在于，包括：
一基体，具有一承载面，用以置放一欲进行溅镀的标的工件；
一冷却管路，配置于该基体中且对应于该基体的承载面，该冷却管路具有至少一开孔，且该开孔开设于该基体的侧缘，可经由该冷却管路的开孔注入冷却剂，以在进行溅镀时降低该基体的温度，减少该标的工件受到该载具因溅镀引起的高温的影响。
2.如权利要求1所述的溅镀降温的载具，其特征在于，该冷却管路的开孔连接有一快速接头。
3.如权利要求1所述的溅镀降温的载具，其特征在于，该冷却管路呈曲线型分布于该基体中。
4.如权利要求1所述的溅镀降温的载具，其特征在于，该冷却管路呈直线型分布于该基体中。
5.如权利要求1所述的溅镀降温的载具，其特征在于，该冷却剂封装于一管体中，且该管体的管径洽对应于该冷却管路的管径。
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