[实用新型]沉积环和静电吸盘

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体处理室用处理套件，尤其涉及处理室内常用的沉积环和静电吸盘。

背景技术

在半导体处理时，处理室内常用到沉积环和与之配套使用的静电吸盘，然而由于设计原因，现有的沉积环和静电吸盘经常容易安装反。

参照图1所示，处理室10包括：腔体500，所述腔体内设置有静电吸盘100、与所述静电吸盘100配套使用的沉积环200、位于所述静电吸盘上的基板400、位于所述腔体500侧壁上的覆盖环300。

当对所述处理室进行预防和保养时，需要将所述沉积环200安装于所述静电吸盘100上，正确的安装结果如图1所示；但是，由于所述沉积环200的正反两面极其相似，操作人员经常将其安装反，错误的安装结果如图2所示。由图1可知，正确安装沉积环200后，沉积环200的侧壁200a的倾斜方向与覆盖环300的侧壁300a的倾斜方向一致；由图2可知，错误安装沉积环200后，沉积环200的侧壁200a的倾斜方向与覆盖环300的侧壁300a的倾斜方向不一致。

对所述处理室10进行预防保养时，所述静电吸盘100上升使所述覆盖环300安装于所述沉积环200上，正确的安装结果如图3所示，错误的安装结果如图4所示。由图3可知，当正确安装所述沉积环200，再安装所述覆盖环300时，所述沉积环200的凸起部200b通过所述覆盖环300的凹陷部300b，使沉积环200与覆盖环300保持一定距离；由图4可知，当错误安装所述沉积环200，再安装所述覆盖环300时，由于所述沉积环200的凸起部200b朝下，所述覆盖环300和所述沉积环200紧密接触，且由于重力以及2种材料热膨胀系数不同，所述沉积环200的侧壁200a和所述覆盖环300的侧壁300a受热导致卡在一起且卡得很紧。因此，当所述处理室10预防和保养完后，需要将所述静电吸盘100下降，由于沉积环200和覆盖环300卡得很紧，所以，本应随所述静电吸盘100下降的沉积环200和基板400与所述覆盖环300卡在一起，被卡的情况如图5所示。

所述沉积环200和所述静电吸盘100的平面结构图如图6所示，所述沉积环200上设置有第一凸起202、第二凸起204和第三凸起206，所述第一凸起202、第二凸起204和第三凸起206的形状大小相同、构成等边三角形，相应的，所述静电吸盘100上设置有第一凹槽102、第二凹槽104和第三凹槽106，第一凹槽102、第二凹槽104和第三凹槽106的形状大小也相同并构成等边三角形。

所述沉积环200、基板400和覆盖环300被卡在一起，有可能因为卡得太紧而不能分开，也有可能卡得不够劲而使所述基板400和沉积环200掉下来，无论哪种情况都会影响使用、甚至造成不必要的损失。

实用新型内容

为了解决现有技术中沉积环经常错误安装到静电吸盘上的问题，本实用新型提供一种在错误安装沉积环时，沉积环与静电吸盘不能配合使用的沉积环和静电吸盘。

本实用新型提供第一种静电吸盘，包括：2个卡持部，所述2个卡持部的形状互不相同、和/或大小互不相同，且其中一个卡持部位于所述静电吸盘的对称轴上时，另一个卡持部位于所述静电吸盘的对称轴之外。

可选的，所述卡持部为凹槽或凸起。

本实用新型还提供与第一种静电吸盘配合使用的沉积环，包括：2个配合部，所述2个配合部的形状互不相同、和/或大小互不相同，且其中一个配合部位于所述沉积环的对称轴上时，另一个配合部位于所述沉积环的对称轴之外。

可选的，所述配合部为凹槽或凸起。

本实用新型提供第二种静电吸盘，包括：N个卡持部，其中N≥3，其中，所述N个卡持部的形状互不相同、和/或大小互不相同、和/或构成不等边的N边形。

可选的，所述卡持部为凹槽或凸起。

优选的，所述卡持部的数量为3个。

本实用新型还提供与第二种静电吸盘配合使用的沉积环，包括：N个配合部，其中N≥3，所述N个配合部的形状互不相同、和/或大小互不相同、和/或构成不等边的N边形。

可选的，所述配合部为凸起或凹槽。

优选的，所述配合部的数量为3个。

把持部和配合部的数量为3个是最优选的，因为3个点确定一个平面，且根据3角形的三点稳定性，3个把持部和3个配合部配合使用的配合程度最高，且避免了制造把持部和配合部时制造更多把持部和配合部的繁琐；且3个把持部和3个配合部识别起来也比较方便。

本实用新型的把持部和配合部的形状、大小和位置，只有在所述沉积环正确安装到所述静电吸盘上时才能相互配合，因此，操作人员不会将沉积环错误安装到静电吸盘上，从而避免了不必要的经济损失。