[实用新型]高纯度三氯氧磷鼓泡装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种使用剧毒危险品高纯度三氯氧磷时所用的鼓泡装置。

背景技术

高纯度的三氯氧磷(99.9999％～99.99999％)是生产制造光纤预制棒的主要原材料之一，也是集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛运用于光伏、IC产业。但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的无色透明化学品。目前在高纯度三氯氧磷使用时主要是直接使用石英源瓶通入高纯氮气，利用高纯氮气作为载气将三氯氧磷带出，其缺点是不安全、不可靠、容易泄漏而污染环境，随着石英源瓶内三氯氧磷量的减少，后续氮气所带出的物料量会逐步减少，造成使用端物料的不均匀，从而在使用时终端产品质量的不稳定。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、使用时出料连续稳定的高纯度三氯氧磷鼓泡装置。

本实用新型的目的是这样实现的：进气管和进料管插入筒体并穿过筛板与筛板焊接加固，筒体内的筛板为一片或多片，筒体上部有出气管，进气管、进料管和出气管分别连接有阀门。

由于本实用新型采用上述结构，该装置结构简单，使用安全可靠，无泄漏不污染、鼓泡均匀，三氯氧磷的消耗量与加入量平衡，可保证连续稳定的物料供给，该装置采用高纯石英或PFA等其他非金属材料制作，完全避免金属杂质对物料的污染，保证物料的纯度。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构图。

图中1进气管、2出气管、3进料管、4筛板、5阀门、6筒体。

具体实施方式

实施例：进气管1和进料管3插入筒体6并穿过筛板4与筛板4焊接加固，底端距筒体6底部4～6mm，筒体6内的筛板4为一片或多片，筒体6上部有出气管2，进气管1、进料管3和出气管2分别连接有阀门5。阀门5均是聚四氟乙烯阀门，进气管1通过阀门5接入高纯氮气，出气管2通过阀门5连接物料使用管，进料管3通过阀门5接入高纯三氯氧磷。

使用时在高纯三氯氧磷鼓泡装置内按磷扩散工艺需求装入一定量的高纯三氯氧磷，通过冷却装置将物料调节到20℃，开启现场的高纯氮气，打开出气管2上部的阀门5，再打开进气管1上部的阀门5，然后打开进料管3上部的阀门6后，开启进料装置控制进料管的进料量在0.01--50ml/min，可连续供料保证稳定运行。