[实用新型]一种副炉开门式单晶炉有效

专利信息
申请号: 201020177559.9 申请日: 2010-04-29
公开(公告)号: CN201695104U 公开(公告)日: 2011-01-05
发明(设计)人: 许月明;汪益龙;周岱忠;李晓荣 申请(专利权)人: 杭州富通半导体设备科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B35/00
代理公司: 浙江翔隆专利事务所 33206 代理人: 沈绿怡
地址: 311400 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 开门 式单晶炉
【权利要求书】:

1.一种副炉开门式单晶炉,其炉体从上至下的主要部件依次为:储存仓、副炉、炉盖、主炉、炉底板,其特征在于:副炉的正面设有副炉开门装置,副炉的下端设有旋转式隔离阀装置,炉盖与主炉的连接处设有防护板,主炉冷却夹层内设有由下至上环绕主炉并以螺旋形式分布的螺旋式水道,与主炉下部连接的两只真空管的端面分别设有两只相同的防爆阀门。

2.如权利要求1所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的副炉开门装置包括炉门、锁紧扳手、密封条、锁紧钩、锁紧连杆、门铰链,其中在副炉正面设有炉门,并通过门铰链与副炉连接,锁紧扳手在副炉下端并与锁紧连杆连接,锁紧连杆与锁紧钩连接。

3.如权利要求1或2所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的炉门形状为长方形,其内部设有门冷却夹层,其外侧下部设有门进水口、观察孔、门扶手,其外侧上部设有门出水口,其侧面设有保险钩,密封条为环形并设于炉门上。

4.如权利要求1所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的旋转式隔离阀装置包括水平阀板、阀仓、阀柄、阀转轴、冷却水管、旋转阀密封圈,水平阀板和冷却水管都与阀转轴相连接,其中冷却水管在水平阀板上部,旋转阀密封圈在阀板下部,阀柄与阀转轴连接,阀仓在副炉下端右侧。

5.如权利要求1所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的螺旋式水道分别连接主炉进水口和主炉出水口,并环绕主炉螺旋式排列。

6.如权利要求1所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的防护板为圆弧状,并通过螺栓固定于炉盖法兰上。

7.如权利要求1所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的防爆阀门包括安全阀盖、安全阀座、防爆阀密封圈、轴销,其中安全阀座与真空管端面连接,轴销分别与安全阀座和安全阀盖连接,安全阀盖在安全阀座上部,防爆阀密封圈位于安全阀座和安全阀盖之间。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州富通半导体设备科技有限公司,未经杭州富通半导体设备科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020177559.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top