[实用新型]一种副炉开门式单晶炉有效
| 申请号: | 201020177559.9 | 申请日: | 2010-04-29 |
| 公开(公告)号: | CN201695104U | 公开(公告)日: | 2011-01-05 |
| 发明(设计)人: | 许月明;汪益龙;周岱忠;李晓荣 | 申请(专利权)人: | 杭州富通半导体设备科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B35/00 |
| 代理公司: | 浙江翔隆专利事务所 33206 | 代理人: | 沈绿怡 |
| 地址: | 311400 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 开门 式单晶炉 | ||
1.一种副炉开门式单晶炉,其炉体从上至下的主要部件依次为:储存仓、副炉、炉盖、主炉、炉底板,其特征在于:副炉的正面设有副炉开门装置,副炉的下端设有旋转式隔离阀装置,炉盖与主炉的连接处设有防护板,主炉冷却夹层内设有由下至上环绕主炉并以螺旋形式分布的螺旋式水道,与主炉下部连接的两只真空管的端面分别设有两只相同的防爆阀门。
2.如权利要求1所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的副炉开门装置包括炉门、锁紧扳手、密封条、锁紧钩、锁紧连杆、门铰链,其中在副炉正面设有炉门,并通过门铰链与副炉连接,锁紧扳手在副炉下端并与锁紧连杆连接,锁紧连杆与锁紧钩连接。
3.如权利要求1或2所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的炉门形状为长方形,其内部设有门冷却夹层,其外侧下部设有门进水口、观察孔、门扶手,其外侧上部设有门出水口,其侧面设有保险钩,密封条为环形并设于炉门上。
4.如权利要求1所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的旋转式隔离阀装置包括水平阀板、阀仓、阀柄、阀转轴、冷却水管、旋转阀密封圈,水平阀板和冷却水管都与阀转轴相连接,其中冷却水管在水平阀板上部,旋转阀密封圈在阀板下部,阀柄与阀转轴连接,阀仓在副炉下端右侧。
5.如权利要求1所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的螺旋式水道分别连接主炉进水口和主炉出水口,并环绕主炉螺旋式排列。
6.如权利要求1所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的防护板为圆弧状,并通过螺栓固定于炉盖法兰上。
7.如权利要求1所述的一种副炉开门式单晶炉,其特征在于所述的防爆阀门包括安全阀盖、安全阀座、防爆阀密封圈、轴销,其中安全阀座与真空管端面连接,轴销分别与安全阀座和安全阀盖连接,安全阀盖在安全阀座上部,防爆阀密封圈位于安全阀座和安全阀盖之间。
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