[实用新型]晶片工艺卡具

权利要求书

1.一种晶片工艺卡具，其特征在于，包括：

一底座，该底座为一圆柱体；

多个四面锥体，所述四面锥体均匀分布于底座的上表面，所述四面锥体的锥端均朝向底座上表面的中心；

多个立柱，该多个立柱直立固定在底座的上表面，且位于两两四面锥体之间。

2.如权利要求1所述的晶片工艺卡具，其特征在于，其中所述四面锥体及立柱的数量相同，分别为2-8个。

3.如权利要求1所述的晶片工艺卡具，其特征在于，其中所述四面锥体的长度小于底座的半径。

4.如权利要求1所述的晶片工艺卡具，其特征在于，其中所述立柱的高度大于四面锥体的高度。

5.如权利要求1所述的晶片工艺卡具，其特征在于，其中所述多个四面锥体的尾端与底座的外圆齐平。

6.如权利要求1所述的晶片工艺卡具，其特征在于，其中所述立柱的固定位置靠近底座的外圆。

7.如权利要求3所述的晶片工艺卡具，其特征在于，其中所述立柱为圆形或椭圆形或方形的柱体。