[实用新型]具有中心定位特征的喷淋头电极及其组件

权利要求书

1.一种用作电容耦合等离子体处理室的上电极的喷淋头电极，包含：

在底面上具有等离子体暴露表面、在顶面上具有安装表面的圆板，该底面包括在该板的外部圆周上的内部台阶；

其中：

该内部台阶被配置为与围绕该喷淋头电极的外部电极的一部分匹配从而该外部电极的内部锥体形表面从该等离子体暴露表面的外缘延伸；

该安装表面包括被配置为接收中心定位环的环形通道和被配置为接收定位销的多个定位销缺口，该多个定位销缺口以与垫板中的定位销孔相匹配的图案排列，该板由该夹紧环面对该垫板固定；

该板包括以与该垫板中的气体供应口相匹配的图案排列的处理气体出口，该气体出口与在该顶面和该底面之间延伸的气体通道互通。

2.根据权利要求1所述的电极，其中该环形通道位于该板中心的中心气体出口和一排环形间隔开的气体出口之间，该定位销缺口包括至少一个在该环形通道的相对侧的中间销缺口以及在该顶面覆盖该内部和外部台阶的外部区域中环形间隔开的多个销缺口。

3.根据权利要求1所述的电极，其中该板是单晶硅。 

4.根据权利要求1所述的电极，其中该气体出口包括在该中心气体出口和该内部台阶之间的13个环形排的图案。

5.根据权利要求4所述的电极，其中该13个环形排包括10个等距间隔开的内部排，其间隔距离大于3个外部排的间隔距离。

6.根据权利要求1所述的电极，其进一步包括外部台阶，其中该外部台阶包括从该外部圆周向内延伸第一距离的水平表面，该内部台阶包括从该外部台阶向内延伸第二距离的水平表面，该第一距离比该第二距离至少大两倍。

7.根据权利要求6所述的电极，其中该板具有平行的顶面和底面，该顶面和底面支架你的厚度不大于0.5英寸，该外部台阶的水平表面与该顶面间隔开第一竖直距离，该内部台阶的水平表面与该底面间隔开第二竖直距离，而较高台阶的水平表面与较低台阶的水平表面间隔开第三距离，该第一竖直距离大于该第二竖直距离，而该第二竖直距离大于该第三竖直距离。

8.根据权利要求1所述的电极，其中该环形通道的内径为约0.24英寸，外径为约0.44英寸，深度为约0.1英寸。

9.一种包含权利要求1所述的电极、垫板和中心定位环的喷淋头电极组件，其中在环境温度下，该垫板包括被配置为接收该中心定位环的环形通道，而该中心定位环的内壁通过摩擦啮合该喷淋头电极中的该环形通道的内壁，而该中心定位环的外壁通过摩擦啮合该垫板中的该环形通道的外壁。

10.根据权利要求9所述的电极组件，其中该喷淋头电极是硅而该垫板是铝，该喷淋头电极组件可在20到200℃的温度下操作而该中心定位环是由比硅更能延展的材料制成的从而该中 心定位环的内壁从该喷淋头电极中该通道的内壁脱离，同时该中心定位环的内壁的上部通过摩擦啮合该垫板中的通道的内壁从而保持该喷淋头电极和该垫板的中的气孔的对准。

11.一种包含权利要求1所述的电极的喷淋头电极组件，其中一种可以操作以通过摩擦将垫板固定到该喷淋头电极的中心定位环，且其中该中心定位环是由聚合物材料制成的，高度为约0.3英寸，内径为约0.24英寸而外径为约0.44英寸。

12.根据权利要求11所述的喷淋头电极组件，其中在环境温度下，该中心定位环的内壁可操作以通过摩擦啮合该喷淋头电极的环形通道的内壁，而该中心定位环的外壁可操作以通过摩擦啮合该垫板中的环形通道的外壁。

13.根据权利要求12所述的喷淋头电极组件，其中该中心定位环是由比该喷淋头电极更能延展的材料制成的，从而该中心定位环的内壁的下部从该喷淋头电极的通道的内壁脱离，同时该中心定位环的内壁的上部通过摩擦啮合该垫板中的通道的内壁。