[实用新型]多晶硅原料酸洗槽

说明书

技术领域：

本实用新型涉及多晶硅原料酸洗设备，尤其是涉及多晶硅原料酸洗槽。

背景技术：

现有的多晶硅生产工艺中，首先设有原料的酸洗工序，即将原料放入硝酸或/和氢氟酸中进行浸泡作用1-3分钟。在该工序过程中，由于有一定的酸性气体排出，往往会对人体产生一定的损害。为减少对操作者的影响，目前的酸洗工序通常设定在酸洗槽中进行，酸洗槽上设置有抽风机，抽风孔设置于上部或侧面，这样，会把大部分的酸性气体通过抽风机抽走，从而减少对操作者健康的损害。但是，实践表明，将抽风孔设置于上部或侧面，抽风效果不理想，通常还会有相当量的气体被操作者吸入肺中，这样会影响到操作者的身体健康。

发明内容：

本实用新型的目的是提供一种多晶硅原料酸洗槽，它可有效地保障操作者在多晶硅原料的酸洗过程中，免受吸入过量的酸性气体对身体造成的伤害。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：多晶硅原料酸洗槽，包括槽架，设置于槽架下部的下挡板，设置于槽架中部的中挡板，中挡板内设置有酸洗池和水洗池，风道上部为气罩，气罩上连接有风管，风管连接抽风机，其特征在于风道的结构是：弧形挡板与槽架内侧面形成风道，弧形挡板下端部前设有与之配合的导气板，导气板下部与酸洗池平台及水洗池平台相接，弧形挡板下部留有空隙，从而使风道下部形成“U”形。

本实用新型还可通过以下方案进一步实现：

槽架的底面可以是平面或凹面。

槽架下后部设有排水口。

槽架的上部弧形挡板的前面设有上挡板。

酸洗池上沿所处的酸洗池平台高于水洗池上沿所处的水洗池平台。

本实用新型具有以下有益效果：风道设计巧妙，抽风机抽风效果好，酸性气体不会上行，从而避免操作者吸入。它可有效地保障操作者在多晶硅原料的酸洗过程中，免受吸入过量的酸性气体对身体造成的伤害。

附图说明：

图1为本实用新型主视结构示意图，图2为本实用新型A-A向剖视结构示意图。

图中：1为下挡板，2为水洗池，3为酸洗池，4为中挡板，5为酸洗池平台，6为操作空间，7为上挡板，8为气罩，9为风管，10为导气板，11为水洗池排水口，12为弧形挡板，13为槽架，14为水洗池平台，15为酸洗池排液口，16为风道，17为排水口。

具体实施方式：

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1、图2所示，槽架13的底面可以是平面或凹面，底面前部为下挡板1，下挡板1可挡住水洗的水的流出；槽架13下后部设有排水口17，用于向外总排水；槽架13的中部前面设有中挡板4，中挡板4可挡住酸洗或水洗过程中，水从酸洗池3和水洗池2上部的流出；槽架13的上部前面(弧形挡板12的前面)设有上挡板7，上挡板7可进一步防止酸性气体从上部向外的排放；上挡板7与中挡板4之间为操作空间6，操作空间6下方设有酸洗池3和水洗池2，酸洗池3下部设有酸洗池排液口15，水洗池2下部设有水洗池排水口11，酸洗池3上沿所处的酸洗池平台5高于水洗池2上沿所处的水洗池平台14；在操作空间6内侧为弧形挡板12，弧形挡板12与槽架13内侧面形成风道16，弧形挡板12下端部前设有与之配合的导气板10，导气板10下部与酸洗池平台5及水洗池平台14相接，弧形挡板12下部留有空隙，从而使风道16下部形成“U”形；图2中箭头所示为在抽风机的作用下操作空间6的气体流向，弧形挡板12的上部为气罩8，气罩8上连接有风管9，风管9连接抽风机。

作业时，打开抽风机，将原料放入酸洗池3中，加入硝酸等酸液停留一定的时间(一般选择1-3分钟)，再放入水洗池2中水洗。在酸洗过程中，有一定的酸性气体排出，酸性气体在抽风机的作用下，直接通过导气板10导入弧形挡板12内的风道，吸出。酸性气体不会上行，从而避免操作者吸入。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求所界定的保护范围为准。