[实用新型]微粉分级的专用分号机无效

专利信息
申请号: 201020168291.2 申请日: 2010-04-23
公开(公告)号: CN201720122U 公开(公告)日: 2011-01-26
发明(设计)人: 刘来宝;朱志翔;孙余凭 申请(专利权)人: 连云港佳宇电子材料科技有限公司
主分类号: B03B5/66 分类号: B03B5/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 222115 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 分级 专用 分号
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种硅片切割砂浆中碳化硅微粉分级的专用分号机。 

背景技术

通常碳化硅在切割加工过程中,由于机械力作用,导致碳化硅微粒的球形系数、粒径和粒径分布发生变化。在诸如硅片切割加工的过程中,会同时使用大量切削液,同时晶硅被切割的粉末和其它机械杂质也会混杂在一起,从而形成混合性切割加工副产物,惯常称之为砂浆(或废砂浆)。 

硅片切割加工用碳化硅微粒要求很高的纯度以及一定的球形系数,合适的粒径分布。所以,砂浆中的碳化硅不能简便的直接回用于硅片的切割生产过程。碳化硅作为重要的材料,由于生产过程复杂,消耗大量的能源,价格高,所以,人们一直致力于从硅片切割加工砂浆中实现高纯碳化硅微粉资源化,提取到高纯度的、符合硅片切割加工工艺要求的碳化硅微粉。在整体资源化利用环节中,碳化硅微粉的分级是一个产业和装置难题。以前使用的微粉分离装置体积大、分级成本高、分离不彻底、回收不方便、装置拆卸困难。 

细于63微米的微粉材料通常采用微粉水力分级设备生产。在已有的分号机、分级罐技术中,往往存在如下不足:1、平衡度极难控制,分级中易出现偏流现象,影响分级精度,而且在外溢流槽有物料留存死角,容易出现超大颗粒。2、设备用水量过大,生产强度不高。3、分级缸内部设计过于简单,层流形成时间短,水压如稍有波动,可能造成粒度相互混合,出现大颗粒。4、锥桶部分的锥角偏大,料罐内容易出现死角,微粉料分布不均,易在分级缸中进行聚集。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可以实现将碳化硅微粉按照粒度分布要求进行分级的专用分号机。 

为实现上述目的,本实用新型的解决方案是:一种微粉分级的专用分号机,包括上部为 圆柱形、下部为圆锥形的分级缸,分级缸内部设有叶轮,分级缸体内侧设有挡板,分级缸上部外侧设有溢流斗。 

分级缸的圆柱形部分长度为3000-3500毫米,优选为3200毫米(Φ1600毫米)。分级缸的圆锥形部分的圆锥角为17°-23°,优选为20°。 

叶轮优选为可置换式叶轮,优选为立式叶轮,最优选为可置换式立式叶轮。叶轮距离圆柱形底部的高度为200-500毫米,优选为350毫米。 

挡板数量为2-8块,优选为6块。单块挡板的径向长度为圆柱形部分半径的1/6~1/3,优选值为1/5。挡板距离圆柱形底部的高度为500-900毫米,优选为700毫米。 

溢流斗数量为2-10个,优选为6个。 

本实用新型的优点是:1、分级缸圆桶部分高度增到3000-3500毫米,层流分布稳定,分级精度高,粒群集中。2、分级缸锥桶部分锥度设定为17°-23°。经过多次试验,锥度在此范围时料浆可以均匀分布,旋流上升速度快,生产强度高,缸内微粉浆无死角,分级精度提高;同时,将分级缸锥桶部分锥度设定为17°-23°的范围,可以确保水量消耗在一个较为合理的水平。3、分级缸内部设有叶轮,叶轮优选法为可置换式叶轮,优选为立式叶轮,最优选为可置换式立式叶轮。叶轮距离圆柱形底部的高度为200-500毫米,优选为350毫米。可以强化生产强度,提高分级效率,优化实现砂浆的均匀分布。同时,由于采用了可置换式叶轮,可通过配置不同规格制式叶轮的,满足各种规格标准、定制需要以及工艺调整的要求。4、分级缸体内侧设有挡板。挡板数量为2-8块,优选为6块。单块挡板的径向长度为圆柱形部分半径的1/6~1/3,优选值为1/5。挡板距离圆柱形底部的高度为500-900毫米,优选为700毫米。可以提高水力上升功率,加强分级作业效率。5、分级缸上部外侧设有溢流斗。溢流斗数量为2-10个,优选为6个。可以实现较为均匀的溢流收集。 

下面将结合附图对本实用新型作进一步详细描述。 

附图说明

附图是本实用新型结构简图。 

具体实施方式

参见附图,一种微粉分级的专用分号机,包括上部为圆柱形、下部为圆锥形的分级缸1,分级缸1直径1600毫米。分级缸内部设有叶轮4,分级缸体内侧设有挡板5,分级缸上部外侧设有溢流斗6。 

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