[实用新型]液体输送系统和化学机械研磨装置

权利要求书

1.一种应用于化学机械研磨的液体输送系统，包括输送管；用于控制输送管通断的控制开关和分配器，所述分配器位于所述输送管的其中一个末端，具有与所述输送管相通的一个或多个喷嘴；其特征在于，所述液体输送系统还包括：与所述输送管相连的流量控制器，用于检测并提供输送管中研磨溶液的流量信息。

2.如权利要求1所述的液体输送系统，其特征在于，所述流量控制器包括：

流量计，用于检测在输送管中所传输的研磨溶液的流量；

报警单元，与所述流量计连接，在检测的流量达到报警阈值时产生报警信号。

3.如权利要求2所述的液体输送系统，其特征在于，所述流量计包括对应于所述报警阈值的传感器，所述传感器在检测到研磨溶液的流量达到报警阈值时产生触发信号至所述报警单元。

4.如权利要求3所述的液体输送系统，其特征在于，所述传感器为液位传感器、测压元件、光学传感器、电容传感器、浮子传感器或雷达传感器。

5.如权利要求2所述的液体输送系统，其特征在于，所述流量计为超声波流量计、涡流流量计、差压式流量计或磁感式流量计。

6.如权利要求2所述的液体输送系统，其特征在于，所述报警单元为报鸣器、显示灯或者他们的结合。

7.如权利要求2所述的液体输送系统，其特征在于，所述流量控制器还包括流量控制单元，用于在检测的流量达到报警阈值时，通过调整所述输送管的流通截面大小来控制研磨溶液的流量。

8.如权利要求7所述的液体输送系统，其特征在于，所述流量控制单元为电动调节阀。

9.一种包括权利要求1至8中任一项所述的液体输送系统的化学机械研磨装置。