[实用新型]自动冷却式输电装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种输电装置，尤其涉及一种自带冷却功能的自动冷却式输电装置。

背景技术

随着有机半导体技术的深入研究，有机器件的应用越来越广泛，如有机电致发光器件(OLED)。OLED的制备离不开有机薄膜的生成，现有技术中最成熟的技术是通过蒸镀技术来完成有机薄膜的制备。

在使用真空蒸镀制备薄膜时，三类加热源如电阻加热源、电子束加热源和感应加热源通常被用于加热和蒸发材料。感应加热源主要用于大规模涂覆仪器，因为由于高频率的使用，它倾向于使用复杂的外围设备。由于电子束加热源能蒸发几乎所有种类的材料，因此它被广泛用于大型设备，也用于实验薄膜的制造。但是，电子束加热源的缺点是价格昂贵。由于电阻加热源安装简单和价格低廉的特征，因此被用于各种领域。

通常OLED的蒸镀方式是采用电阻式加热蒸发源(电极通电至蒸发源供热)，所选择的蒸发源材料为耐特高温的材料，比如半导体材料和金属，具体的可以选择金属如钨、钽、钼等，此外还可以是氯化硼等。蒸发源的使用方法如下：将蒸发源的两端连接输电装置，外加较大的电流使其由于电阻效应而发热，使放入其中的待蒸镀材料如金属材料、半导体材料等熔融、蒸发，得到蒸镀膜。

然而，当电流通过输电装置时，电流也会作功而消耗电能，会由于电流的热效应而产生热量。所以当输电装置通过较大的电流时，输电装置也会产生较大的热量和温度。若输电装置得不到及时的冷却降温则其会产生较大的电阻，不利于较大电流的传输。此外，输电装置和蒸发源还会把热量传递到真空腔体内、真空腔体壁上等，蒸发源的热量会导致待镀基板表面温度过高，不利于OLED膜层的制备，而较高温度的真空腔体壁也会产生较大的安全隐患，例如容易灼伤操作者。

因此，急需一种自带冷却功能的输电装置以提供较好的输电性能和安全性能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动冷却式输电装置，该自动冷却式输电装置自带冷却功能从而提供较好的输电性能和安全性能。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案为：提供一种自动冷却式输电装置，适用于固定真空腔体内的蒸发源并对所述蒸发源输电，所述自动冷却式输电装置包括输电单元、密封单元及冷却单元，所述输电单元包括两呈中空结构的电极棒，所述中空结构形成进水槽，所述电极棒包括位于所述真空腔体内的内端和位于所述真空腔体外的外端，所述外端与电极线相连接，其中一所述电极棒的内端与所述蒸发源的一端相连，而另一所述电极棒的内端与所述蒸发源的另一端相连，所述密封单元包括法兰和卡置于所述法兰上的绝缘件，所述电极棒穿过所述绝缘件绝缘地固定于所述法兰上，所述法兰安装于所述真空腔体上与所述真空腔体一起构成封闭的空间，所述冷却单元包括出水管、进水接头和出水接头，所述出水管悬置于所述进水槽内，所述进水接头与所述进水槽相连通，所述出水接头与所述出水管相连通，所述进水接头、进水槽、出水管及出水接头构成冷却通路。

与现有技术相比，由于本实用新型自动冷却式输电装置自带冷却单元，通过该冷却单元可对固定蒸发源的自动冷却式输电装置进行自动冷却，经过冷却降温的自动冷却式输电装置可以提供蒸发源所需要的低电压大电流，具有较好的输电性能，同时也可有效地降低真空腔体的温度以提高安全性能。

较佳地，所述自动冷却式输电装置还包括承载单元，所述承载单元包括固定于所述法兰上的固定座和固定于所述固定座上的绝缘固定夹，所述电极棒固定于所述绝缘固定夹上。

较佳地，所述电极棒的外端设置有导电螺母，所述导电螺母将所述电极线固定在所述电极棒上。

较佳地，所述冷却单元还包括连接座，所述连接座固定于所述电极棒的外端，所述连接座开设有与所述进水槽相连通的主通孔和与所述主通孔相连通的侧通孔，所述出水管穿过所述主通孔与出水接头连接，所述进水接头安装于所述侧通孔上。

较佳地，所述输电单元还包括蒸发源固定夹，所述电极棒的内端通过蒸发源固定夹与所述蒸发源相连。

较佳地，所述绝缘件与所述法兰连接处设有密封圈，所述绝缘件与所述电极棒连接处也设置有密封圈。

附图说明

图1是本实用新型自动冷却式输电装置安装于真空腔体的示意图。

图2是图1中A部分的放大示意图。

图3是图1中B部分的放大示意图。

图4是本实用新型自动冷却式输电装置的立体图。

图5是图4所示本实用新型自动冷却式输电装置的俯视图。

具体实施方式