[实用新型]用于生产镜片的真空镀膜机循环冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜机，尤其涉及该机中的冷却循环装置系统。

背景技术

由图1可见：只有采用冷冻压缩机1冷却处理，一部分冷却水从储水槽6到冷冻压缩机1冷却，经过主水泵4，打到真空镀膜机61的两个油扩散泵中，对油扩散泵和整个膜腔进行降温处理。加热过的冷却水经过出水管再次回到储水槽6中；而另一部分的冷却水则通过副水泵5依次打到DP冷冻机2和CH冷冻机3对冷冻压缩机1的高压端和整个镀膜机进行冷却，加热后的冷却水经过出水管流回储水槽6。在实际的真空镀膜机工作时，仅靠冷冻压缩机1的冷却达不到足够的降温要求。存在的问题：第一，当镜片进入真空镀膜机镀膜时，由于油扩散泵温度很高，镀膜腔内的真空度不能很快的降低下来，严重影响镜片的镀膜质量，并且内部真空度的不稳定也会引起镀膜机内部的电子枪、离子枪等密封元件的老化损坏；第二，冷却循环装置的工作时间过长，冷却效果不理想，整个循环冷却系统的使用寿命缩短；第三，由于降温效果的不想，导致真空镀膜机膜腔内真空度达不到工艺生产要求，抽真空的时间过长，影响了生产能力。

发明内容

本实用改造需要解决的技术问题是提供了一种用于生产镜片的真空镀膜机循环冷却装置，旨在解决上述的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型包括：冷冻压缩机以及在冷冻压缩机上的储水槽；一部分冷却水从储水槽到冷冻压缩机冷却，所述的冷冻压缩机将冷却水经主水泵到真空镀膜机的两个油扩散泵中；在真空镀膜机中被加热过的冷却水经过两个油扩散泵的出水管回到储水槽；储水槽中的另一部分冷却水则通过副水泵依次打到DP冷冻机和CH冷冻机对冷冻压缩机的高压端和整个镀膜机进行冷却，加热后的冷却水经过出水管流回储水槽；还包括：一个冷却塔；所述冷却塔连接在储水槽和两个油扩散泵的出水管之间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：有效地对镀膜腔进行快速降温，降低油扩散泵的温度，解决了降温效果不理想的问题，缩短了抽真空的的时间；同时也解决了镀膜腔内温度高对镜片镀膜质量影响的问题，保证了镜片的膜层均匀美观。

附图说明

图1是现有技术中用于生产镜片的真空镀膜机循环冷却装置结构示意图；

图2是本实用新型结构示意图；

图3是图2中冷却塔

图4是采用本实用新型的真空镀膜机油扩散泵工作原理图。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

由图2、图3可见：本实用新型包括：冷冻压缩机1以及在冷冻压缩机1上的储水槽6；一部分冷却水从储水槽6到冷冻压缩机1冷却，所述的冷冻压缩机1将冷却水经主水泵4到真空镀膜机61的两个油扩散泵中；在真空镀膜机61中被加热过的冷却水经过两个油扩散泵的出水管回到储水槽6；储水槽6中的另一部分冷却水则通过副水泵5依次打到DP冷冻机2和CH冷冻机3对冷冻压缩机1的高压端和整个镀膜机进行冷却，加热后的冷却水经过出水管流回储水槽6；还包括：一个冷却塔7；所述冷却塔7连接在储水槽6和两个油扩散泵的出水管之间；

所述冷却塔7包括：一个出水盘71；在出水盘71的底端通过一根管子72的一端连接两个油扩散泵的出水管，在出水盘71的侧旁通过一根排水管73与储水槽6相连；在出水盘71的上方是过滤罐74；在过滤罐74内的下方是过滤棉75；管子72的另一端穿过过滤棉75与旋转喷水器76相接；在过滤罐74的上方还安置一个拌风机构77。

本实用新型在原设备的基础增加了冷却塔的，在油扩散泵的出水管口接入了冷却塔，使冷却水经过冷却塔再流回到储水槽中。

由图4可见(图中底部加热器8、油分子9、空气分子10、P表示排出、J表示进入)：打开冷却水阀，使冷却水进入循环状态；冷却水从压缩冷冻机经过水泵打到镀膜机内。镀膜机扩散泵有最大的5个喷射装置(Jet stage)，圆筒形外部用铅焊接缠着钢管，下面有加热器。内面有油而喷出，次上面放冷却水的盖子。入口在上面，通过前级管道(Fore line)气体排出。

从油扩散泵(Oil rotary pump)排出来的低蒸馏压的油在泵里面15-20分钟加热后就变成了油蒸汽，向上面喷射。被喷射的油分子跟进来的气体分子一起向下面压缩，带出了上方的气体，扩散泵下面的气体分子会提高，通过Fore line排出。拍出来的气体分子被循环泵(Backing pump)重新排除。气体分子和蒸汽压合起来下降时，油蒸汽被泵管道壁冷凝再次循环。管道壁的冷却水变热以后经过进水管道进入冷却塔，如图3通过顶部的十字形带有多个喷水孔的旋转式喷水器76将加热后的水均匀的喷洒在冷却塔内，喷洒出的水滴经过过滤棉75向下渗透的过程中不断将热量散发到塔内，并最终流入下方的出水盘71中。冷却塔顶部装有拌风机构77将被加热后的空气从顶部抽出，并从下方进入新的冷空气对热水进行对流冷却。储水盆中冷却水经过出水管进入到压缩循环机上冷却再重新循环使用。