[实用新型]用于半导体二极管的酸洗槽无效
| 申请号: | 201020142521.8 | 申请日: | 2010-03-26 |
| 公开(公告)号: | CN201655760U | 公开(公告)日: | 2010-11-24 |
| 发明(设计)人: | 张心波 | 申请(专利权)人: | 张心波 |
| 主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/329;B08B3/08 |
| 代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 贾海芬 |
| 地址: | 213017 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 半导体 二极管 酸洗 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种用于半导体二极管的酸洗槽,属于半导体二极管的清洗技术领域。
背景技术
在半导体二极管的制作过程中,需要对半导体二极管酸洗后再进行封装。因此半导体二极管清洗是否干净,直接影响半导体二极管的性能。在清洗过程中,通常将半导体二极管插装在酸洗槽的插孔内,将腐蚀性的含硫酸的酸洗液到入酸洗槽内对半导体二极管浸泡,将酸洗液倒出后再用去离子水对半导体二极管进行冲洗。而酸洗槽通常由酸洗盘和安装在酸洗盘下部的四个耐腐蚀的支腿构成,酸洗盘的槽底设有多个插装半导体二极管的工件插装孔以及螺钉安装孔,而支腿的上部设有螺纹孔,螺钉穿过酸洗盘的螺钉安装孔再旋接在支腿的螺纹孔内,将支腿连接在酸洗盘的下部。但酸洗过程中,酸洗槽需要经常盛装和倒掉酸洗液,使得酸洗液经常会流到螺钉处,而腐蚀掉螺钉,使支腿脱落,造成酸洗槽无法使用。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单,安装方便,能将支腿可靠安装酸洗盘上,不会被酸洗液腐蚀的用于半导体二极管的酸洗槽。
本实用新型为达到上述目的的技术方案是:一种用于半导体二极管的酸洗槽,包括酸洗盘和四个以上耐腐蚀的支腿,酸洗盘的凹槽底板上设具有三排以上横向和纵向设置的工件插装孔,其特征在于:所述酸洗盘的四周具有安装孔,支腿上部具有小于支腿的安装轴,且支腿的安装轴与酸洗盘的工件插装孔紧密配合。
本实用新型在酸洗盘的四周设有安装孔,而支腿上部设有安装轴,使安装轴直接紧配安装在酸洗盘的安装孔内,将支腿安装在酸洗盘上,由于没有螺钉,在酸洗过程中,酸洗槽内的酸洗液流入支腿顶部后,支腿也不会被酸洗液腐蚀,结构简单,安装方便,而将支腿可靠安装酸洗盘上。
附图说明
下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步的描述描述。
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是图1的俯视结构示意图之一。
图3是本实用新型结构示意图之二。
其中:1-支腿,1-1-安装轴,2-酸洗盘,2-1-凹槽底板,2-2-工件插装孔,2-3-安装孔,3-半导体二极管。
具体实施方式
见图1、2所示,本实用新型的用于半导体二极管的酸洗槽,包括酸洗盘2和四个以上耐腐蚀的支腿1,酸洗盘2的凹槽底板2-1底板上设具有三排以上横向和纵向设置的工件插装孔2-2,工件插装孔2-2内可安装半导体二极管3,酸洗盘2的四周具有安装孔2-3,支腿1上部具有小于支腿尺寸的安装轴1-1,支腿1的安装轴1-1与酸洗盘2的工件插装孔2-2紧密配合,见图2所示,本实用新型支腿1的安装轴1-1采用圆柱形与酸洗盘2的安装孔2-3的圆孔紧密配合,或支腿1的安装轴1-1采用可多边形与酸洗盘2上多边形安装孔2-3紧密配合。见图1、2所示,本实用新型为方便将支腿1安装在酸洗盘2,酸洗盘2上的安装孔2-3为锥度在1~5°的锥孔,而支腿1的安装轴1-1也为对应的锥轴,使锥轴与锥孔紧密配合而连接,支腿1上的轴肩对酸洗盘2底面相接。见图3所示,本实用新型为防止支腿1的转动,该酸洗盘2上的安装孔2-3具有定位面,同样,支腿1上部的安装轴1-1也具有定位面,通过支腿1的安装轴1-1与酸洗盘2的安装孔2-3的紧密相配,且支腿1上的轴肩对酸洗盘1底面相接,将支腿1可靠地安装在酸洗盘2上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





