[实用新型]一种与玻璃基板切割机配套使用的减震补偿装置

权利要求书

1.一种与玻璃基板切割机配套使用的减震补偿装置，以上减震补偿装置的结构中包括实时采集玻璃基板(1)震动相关信息的传感器、控制电路及执行机构，其特征在于：所述的执行机构的结构中包括对称在玻璃基板(1)两侧的施力板(3A、3B)、以调心球轴承(5A、5B)为支撑确定施力板(3A、3B)沿玻璃基板(1)谐振方向运动的支撑轴(4A、4B)、调节支撑轴(4A、4B)与玻璃基板(1)位置的负反馈调节机构(10)，以及定位在调心球轴承(4A、4B)的轴承座(6A、6B)上并由电机(8A、8B)调节的弹性施压机构。

2.根据权利要求1所述的一种与玻璃基板切割机配套使用的减震补偿装置，其特征在于：所述的施力板(3A、3B)是借助轴承与支撑轴(4A、4B)形成具有旋转自由度的滚轮。

3.根据权利要求1所述的一种与玻璃基板切割机配套使用的减震补偿装置，其特征在于：所述的弹性施压机构的结构中包括两端分别固定在电机(8A、8B)输出端和轴承座(6A、6B)上的压簧(7A、7B)。

4.根据权利要求1所述的一种与玻璃基板切割机配套使用的减震补偿装置，其特征在于：所述的采集震动相关信息的传感器中包括采集玻璃基板(1)频率信息的振动传感器、采集玻璃基板(1)振幅信息的压力传感器、采集玻璃基板(1)位置信息的位置传感器以及采集玻璃基板(1)形状信息的形状传感器。

5.根据权利要求1或4所述的一种与玻璃基板切割机配套使用的减震 补偿装置，其特征在于：所述的采集震动相关信息的传感器的结构中还包括温度传感器。

6.根据权利要求1所述的一种与玻璃基板切割机配套使用的减震补偿装置，其特征在于：所述的施力板(3A、3B)是以硅胶为基础复合材料制成的耐300℃高温、耐磨损的材料。