[实用新型]X射线分光器及矿物成分分析仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学测量技术领域，尤其是涉及一种X射线分光器及矿物成分分析仪。

背景技术

矿物成分分析仪分为波长色散型和能量色散型两种，其主要区别在于有没有X射线分光器。具有X射线分光器的波长色散型矿物成分分析仪较能量色散型分析仪有诸多的优点，例如其分辨率高、测量精度高等。因此目前常用矿物成分分析仪为波长色散型，而常用的波长色散型矿物成分分析仪内的分光晶体为平面结构，但目前公知的曲面晶体分光器还没有在矿物成分分析仪上取得成功应用，其主要原因是曲面分光晶体光路系统设计复杂，需要入射调整通道、出射调整通道等复杂的光路结构，光路长，需要抽真空设备来减少X射线在光路传播过程中由于空气吸收引起的损失。这些原因导致了曲面晶体分光器不能被用于矿物成分分析仪上。

实用新型内容

鉴于上述现有技术所存在的问题，本实用新型实施例的目的是提供一种X射线分光器及矿物成分分析仪，其结构紧凑，光路简单，不需要抽真空设备进行抽真空，可用在流程性工业中矿物成分分析仪上。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

本实用新型实施例提供一种X射线分光器，包括：

分光器壳、晶体保持架、曲面分光晶体、入射铍片窗口、出射铍片窗口、入射调整窗口和出射狭缝部件；

所述曲面分光晶体和晶体保持架均设置在分光器壳内，所述曲面分光晶体固定设置在晶体保持架上；

所述入射铍片窗口和出射铍片窗口分别设置在曲面分光晶体两侧的分光器壳上，所述入射铍片窗口、出射铍片窗口与曲面分光晶体的弧形反射面之间呈三角形分布；

所述入射调整窗口设置在入射铍片窗口内；

所述出射狭缝部件设置在分光器壳内的曲面分光晶体与出射铍片窗口之间的光路上。

所述入射铍片窗口由圆型铍片和入射通孔构成，所述入射通孔设置在分光器壳的侧壁上，所述圆型铍片贴装覆盖在入射通孔的入口上；

所述出射铍片窗口由方型铍片和出射通孔构成，所述出射通孔设置在分光器壳的另一侧侧壁上，所述方型铍片贴装覆盖在出射通孔的出口上。

所述圆型铍片为直径为15mm、厚度为0.3mm的圆型铍片。

所述方型铍片为长27.2mm×宽19.2mm×厚0.3mm的长方型铍片。

所述入射调整窗口为圆柱体结构，其上设有入射通孔，所述入射调整窗口能在入射铍片窗口内侧转动来调整进入入射铍片窗口后的X射线的角度和剂量。

所述曲面分光晶体采用对数螺旋线型的曲面分光晶体。

所述曲面分光晶体采用晶格间距为2d＝0.402的氟化锂晶体。

所述出射狭缝部件为板状结构，其上设有通孔。

所述分光器壳为六边菱形结构。

本实用新型实施例还提供一种矿物成分分析仪，包括：X射线管、高压电源、特征X射线检测器和信号处理单元，还包括：

X射线分光器，所述X射线分光器采用上述任一项所述的X射线分光器，所述X射线分光器设置在X射线管与特征X射线检测器之间，用于将X射线管激发出的多种金属元素的特征X射线中的一种分离出来。

从上述本实用新型实施例提供的技术方案中可以看出，本实用新型实施例中通过在入射铍片窗口内设置入射调整窗口和在出射光路上设置出射狭缝组件与固定设置的曲面分光晶体配合，形成一种结构简单紧凑的X射线分光器。在入射调整窗口与出射狭缝组件的配合及曲面分光晶体的聚焦作用下，使得X射线在该分光器中的传播距离极大的缩短，从而使X射线在传播过程中被空气吸收的量减小，分光效率可以得到很大的提高，而且使分光器在不抽真空的情况下使用成为可能。因此，该分光器可方便的应用在矿物成分分析仪上。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的分光器的结构示意图；

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例一

本实施例一提供一种X射线分光器，该分光器可用在矿物成分分析仪上，如图1所示，该分光器包括：

分光器壳1、晶体保持架2、曲面分光晶体3、入射铍片窗口4、出射铍片窗口5、入射调整窗口6和出射狭缝部件7；

其中，所述曲面分光晶体3和晶体保持架2均设置在分光器壳1内，分光器壳1为六边菱形结构，所述曲面分光晶体3固定设置在晶体保持架2上；