[实用新型]一种硅片并排输送机构

权利要求书

1.一种硅片并排输送机构，包括机架(1)、台面板(2)，其特征是：所述台面板(2)固定在机架(1)上，升降台(3)通过导杆(17)连接在台面板(2)上，导杆(17)通过螺母(15)固定在升降台(3)上，导套(16)安装在台面板(2)，导杆(17)穿在导套(16)中，所述台面板(2)上固定气缸(18)，气缸(18)的推杆固定在升降台(3)上，升降台(3)通过气缸(18)支撑，列向输送装置通过支撑板(9)固定在升降台(3)上，所述台面板(2)上安装横向输送装置。

2.如权利要求1所述的一种硅片并排输送机构，其特征在于所述的列向输送装置采用支撑板(9)固定在升降台(3)上，第一滚轮轴(13)固定在支撑板(9)上，第一滚轮(11)通过第一轴承(19)安装在第一滚轮轴(13)上，第一伺服电机(4)及第三伺服电机(35)通过连接杆(7)连接在支撑板(9)上，第一伺服电机(4)通过第一联轴器(5)与传动轴(6)连接，第三伺服电机(35)通过第一联轴器(5)与传动轴(6)连接，传动轴(6)通过第三轴承(31)安装在支撑板(9)上；第一传动轮(8)通过第二平键(30)连接在传动轴(6)上，列向输送带(10)将第一传动轮(8)和第一滚轮(11)连接传动。

3.如权利要求1所述的一种硅片并排输送机构，其特征在于所述的横向输送装置采用电机固定板(20)、支撑块(23)以及竖块(24)固定在台面板(2)上，在电机固定板(20)上固定第二伺服电机(21)，长轴(26)通过第二联轴器(22)与第二伺服电机(21)连接，并通过第二轴承(27)安装在支撑块(23)上，第二传动轮(29)通过第一平键(28)连接在长轴(26)上，第二滚轮(33)通过第四轴承(32)安装在第二滚轮轴(25)上，第二滚轮轴(25)安装固定在竖块(24)上，横向输送带(34)将第二滚轮(33)与第二传动轮(29)连接传动。

4.如权利要求3所述的一种硅片并排输送机构，其特征在于所述的支撑块(23)上固定传感器(14)。

5.如权利要求1所述的一种硅片并排输送机构，其特征在于所述的列向输送装置设置二套；所述的横向输送装置设置三套。