[实用新型]用于多晶硅生产中的金属粉末烧结滤芯过滤器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于多晶硅生产中的金属粉末烧结滤芯过滤器。

背景技术

目前，国内外多晶硅产业迅猛发展，现行的多晶硅工业化生产工艺在多个工段均要求工艺流体的高精度过滤，如合成反应器出口气体过滤、氢化或者还原炉尾气过滤、硅粉输送系统气体过滤、氯硅烷液体过滤等。

现有的过滤器主要包括：旋风除尘器、颗粒层除尘器、袋式除尘器、金属毡过滤器、三维网状结构的多孔金属。

现有的过滤器针对多晶硅生产中的气体净化和液体过滤均表现出一定的不足：

旋风除尘器——造价低廉，结构简单，但除尘效率低，不能去除极微细颗粒，必须辅以精细过滤器；

颗粒层除尘器——效率较高，但投资高、占地面积大，对某些高温粘性粉尘净化效果差；

袋式除尘器——易结露，寿命短，不耐高温；

金属毡过滤器——过滤精度达不到要求，气体通量小，不耐磨蚀；

三维网状结构的多孔金属——体表面积小，光滑的表面不能有效分离气体中的颗粒。

上述现有的过滤器不能满足多晶硅生产中的气体净化和液体过滤要求。

金属粉末烧结滤芯是由金属及合金粉末烧结制成的微孔金属材料，金属粉末烧结滤芯具有耐高温、耐腐蚀、孔径分布均匀、透气性好、机械强度高、可清洗再生、可焊接及可机械加工等优良特性。金属粉末烧结滤芯产品用于：化工、冶金、石油、环保、发酵等领域中的气液过滤与分离，如：药液、油类、饮料、矿泉水等液体的粗滤和精滤；各种气体、蒸汽的除尘、除菌、除油雾；消音、阻焰、气体缓冲等。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于多晶硅生产中的金属粉末烧结滤芯过滤器，该过滤器能够满足多晶硅生产中的各种工况要求和工艺处理要求、运行稳定、操作维护简单，且能够实现多晶硅生产中气/固、液/固分离过程中的高精度过滤。

为实现上述目的，本实用新型提供一种用于多晶硅生产中的金属粉末烧结滤芯过滤器，该过滤器包括过滤器壳体、进料管和出料管，在所述过滤器壳体内设置有金属粉末烧结滤芯，以将所述壳体内的空间分隔为进料空间和出料空间，所述进料管连通到所述进料空间，所述出料管连通到所述出料空间。

优选地，所述进料管上设有进料阀，所述出料管上设有出料阀。

优选地，所述过滤器包括设置在所述出料空间内的反吹气体分布器，设置在所述壳体外部的反吹储气罐，将所述反吹储气罐连通到所述反吹气体分布器的反吹管，以及与所述进料空间连通的排放管。

优选地，所述反吹管上设有反吹阀，所述排放管上设有排放阀。

优选地，所述过滤器还包括控制系统，所述控制系统连接到所述进料阀、出料阀、反吹阀与排放阀，用于控制各个阀的打开或关闭。

优选地，在所述进料空间或者进料管与所述出料空间或者出料管之间连通有测压管，所述测压管上设有差压计，所述差压计与所述控制系统连接。

优选地，在所述进料空间或者进料管上设有第一压力传感器，在所述出料空间或者出料管上设有第二压力传感器，所述两个压力传感器均与所述控制系统连接。

优选地，在所述出料管上设有流量计，所述流量计与所述控制系统连接。

优选地，所述控制系统用于控制所述反吹气体分布器实现分区反吹、整体反吹、在线反吹或者离线反吹。

优选地，所述控制系统通过时序控制方式或者差压控制方式来控制所述反吹气体分布器进行反吹。

与现有过滤器相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有如下优点：

1.金属粉末烧结滤芯的孔隙率高，过滤通量大，单位处理量需要的过滤面积小；孔径分布均匀，分离效果稳定，过滤精度高；

2.金属粉末烧结滤芯的过滤精度高，可以处理的固体颗粒粒径在0.05～200μm，并且可以针对特定粒径固体杂质的进料选择特定孔径的滤芯，以达到最佳过滤效果；

3.金属粉末烧结滤芯为不锈钢、合金或特种材料，滤芯不会破损或者穿孔，分离效果稳定，保证了过滤产品的质量，减少了生产停车或者检修；化学稳定性极佳，耐氧化、耐腐蚀，抗强酸、强碱性能好；

4.金属粉末烧结滤芯温度适用范围广，可应用于温度范围-40℃～900℃；

5.由于采用反吹结构，滤芯可以连续使用3个月以上，不发生堵塞；一般的滤芯需要经常清洗，清洗费用高，如人工、药剂、开停车等成本高；

6.金属粉末烧结滤芯的机械强度好，适用的系统压力范围广，可应用于系统压力范围-0.2Mpa～20Mpa，耐冲击和交变负载，可进行在线脉冲反吹，保证了过滤的运行稳定性，有很高的操作弹性；