[实用新型]绒面ZAO透明导电薄膜

说明书

技术领域

本实用新型属于光学薄膜技术领域，特别是涉及一种太阳能电池用的绒面ZAO透明导电薄膜。

背景技术

透明导电薄膜具有良好的导电性能和透光性能，广泛应用于平面液晶显示（LCD）、电致发光显示（ELD）、等离子体显示（PD）以及太阳能电池、热镜、电磁屏蔽等。在相当一段时间内,In2O3:Sn(ITO)薄膜作为一种典型的透明导电氧化物薄膜得到了极广泛的应用，但ITO薄膜中的铟有毒，在制备和应用中对人体有害；ITO中的In2O3的价格昂贵,成本较高，ITO薄膜易受氢等离子体的还原作用，这些缺点在很大程度上限制了ITO薄膜的研究和应用。新型透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜中的ZnO价格便宜,来源丰富,无毒,并且在氢等离子中稳定性要优于ITO，在很多领域特别是太阳能电池领域具有取代氧化锡的价值。目前ZAO薄膜的光学和电学性能已能满足太阳能电池的要求，但在粗糙度方面却不能满足要求。太阳能电池需要具有一定粗糙度的绒面透明导电膜，以提高光子在太阳能电池光伏材料中的光程，但现有技术中没有符合绒面要求的ZAO透明导电薄膜。

发明内容

本实用新型的目的是克服以上问题，提供一种具有较高粗糙度的绒面ZAO透明导电薄膜。

为此，本实用新型采用的技术方案是这样的：绒面ZAO透明导电薄膜，其特征在于：ZAO薄膜厚度为300-400nm，ZAO薄膜上带有平行连续的正弦槽，所述的槽规律分布，槽深为100-120nm，相邻两个槽之间的距离为700-900nm。

本实用新型材质环保无毒，成本便宜，具有精确的绒面结构，并适合大批量大面积制备。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型应用于太阳能电池片的示意图。

具体实施方式

参见图1。绒面ZAO薄膜1上带有若干平行连续的正弦槽2、3……，这些槽均匀规律分布，槽深均为120nm，每两个相邻槽之间的距离为900nm。

参见图2。绒面ZAO薄膜1通过环氧胶附着于透明玻璃基片10上，形成太阳能电池片。