[实用新型]输出电压可调的射频电源

权利要求书

1.一种输出电压可调的射频电源，其特征在于：所述输出电压可调的射频电源直流变换器由直流变换器(DC/DC)、E类(Class-E)开关放大器和匹配网络顺序连接，射频电压检测器从匹配网络提取输出的电压幅值信号给比例积分微分脉冲宽度调制控制器(PID PWM)，比例积分微分脉冲宽度调制控制器(PID PWM)输出脉冲宽度调制信号驱动直流变换器(DC/DC)。

2.根据权利要求1所述的输出电压可调的射频电源，其特征在于：所述直流变换器(DC/DC)的第一功率场效应管(S1)的漏极与直流电源(Udc)的正极和第一二极管(D1)的负极相连，第一功率场效应管(S1)的源极与第二二极管(D2)的负极和变压器(T)的初级绕组同名端相连，变压器(T)的初级绕组的异名段与第二功率场效应管(S2)的漏极和第一二极管(D1)的正极相连，第二功率场效应管的源极与直流电源(Udc)的负极和第二二极管(D2)的正极相连，第一功率场效应管(S1)的栅极接比例积分微分脉冲宽度调制控制器(PID PWM)的脉冲宽度调制信号输出端，变压器(T)的次级绕组同名端接第三二极管(D3)的正极，第三二极管(D3)的负极与第四二极管(D4)的负极和第一电感(L1)相连，第一电感(L1)的另一端接第一电容(C1)和射频扼流圈(RFC)，第一电容(C1)的另一端接地，变压器(T)的异名端和第四二极管(D4)的正极接地。

3.根据权利要求1所述的输出电压可调的射频电源，其特征在于：所述E类(Class-E)开关放大器的高频电感(RFC)一端与第一电感(L1)相连，另一端与高频场效应管(Q1)的漏极相连，高频场效应管(Q1)的源极接地， 第二电容(C2)一端接高频场效应管(Q1)的漏极，一端接地，高频场效应管(Q1)的漏极还与匹配网络的第三电容(C3)相连，高频场效应管(Q1)的栅极接驱动电压Vin。

4.根据权利要求1所述的输出电压可调的射频电源，其特征在于：所述匹配网络由第三电容(C3)、第二电感(L2)和第三电感(L3)串联连接组成。

5.根据权利要求1所述的输出电压可调的射频电源，其特征在于：所述比例积分微分脉冲宽度调制控制器(PID PWM)的第一电阻(R1)一端接输出电压检测器，另一端经并联的第二电阻(R2)、第四电容(C4)接运算放大器的反相输入端，运算放大器的反相输入端与输出端接有串联的第三电阻(R3)、第五电容(C5)，运算放大器的同相输入端通过第四电阻(R4)接给定电压(Vref)，运算放大器输出端接比较器输入端，比较器另一端输入三角波，比较器输出端输出脉冲调制信号给第一功率场效应管(S1)和第二功率场效应管(S2)的栅极。

6.根据权利要求5所述的输出电压可调的射频电源，其特征在于：输出电压检测器输入端1与第五二极管(D5)的正极相连且经第七电容(C7)接地，第五二极管(D5)的负极与输出电压检测器输出端2相连且分别经第六电容(C6)、第五电阻(R5)接地。