[实用新型]一种微型压力传感器标定台

说明书

一、技术领域

本实用新型涉及压力传感器标定台，特别涉及一种接触点小的微型压力传感器静态标定台。

二、背景技术

传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一，从宇宙开发到海底探秘，从生产的过程控制到现代文明生活，几乎每一项技术都离不开传感器。压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、便于集成化的优点，可广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速、液位、压强的测量与控制。

微型压力传感器具有精度可靠的力传感性能，该类传感器采用了已被证明的可靠的传感技术，即使用专门设计的精度压敏电阻硅传感元件。小功率，无放大、无补偿的惠斯顿桥电路设计可在力范围内提供内在稳定的毫伏级电压输出。

微型压力传感器根据埋入的压电电阻，在其受到任何外力时，其电阻会增加的原理工作。微型压力传感器通过受力敏感接触部位，将施加的力直接集中到硅-传感元件上，电阻值的变化是随施加的力的大小而成比例的变化。电路电阻的变化致使毫伏级输出电压也作相应的变化。

传感器的测量精度是评定传感器最重要的性能指标之一，其误差包括随机误差和系统误差。对于微型压力传感器而言，其随机误差主要由内部信号处理电路、量化误差、外界干扰等因素引起；系统误差主要由标定系统的标定精度所决定。微型传感器本身结构精密，受力接触点较小，因此传感器标定装置的设计研究至关重要，其标定精度将直接影响其使用时的测量精度。

三、发明内容

技术问题本实用新型针对接触点小的微型压力传感器难以标定的问题，设计了一种精度高、安装简单、操作方便、通用性强的微型压力传感器的静态标定台。

技术方案一种微型压力传感器的静态标定台，包括标定台底座、安装支架、横梁以及传感器触头，所述的安装支架设置在标定台底座上，所述的横梁中部通过一个轴承固定在安装支架上，在所述的横梁一端装有一个粗调平调螺母和一个细调平螺母，在所述的横梁的另一端通过细线悬挂一个砝码盘，在横梁的细线悬挂点与轴承之间设置有一紧固夹，一垂直导向轴通过该紧固夹可上下调节地固定在横梁上，在垂直导向轴的下端可拆分地连接所述的传感器触头。

所述的紧固夹设置在所述的横梁细线悬挂点与轴承的正中间。

所述的传感器触头与垂直导向轴的下端螺纹连接，旋转传感器触头可使其上下移动并可更换该传感器触头。

有益效果

1、采用悬挂砝码盘式结构，抗偏载能力强

传感器标定台结构设计是影响标定精度的重要因素。如果加载到砝码盘的砝码的重力产生了其它方向的分力而不能全部转化为传感器所受竖直方向的压力，标定的结果误差很大。本实用新型采用悬挂砝码盘式结构，通过细线把砝码盘悬挂在横梁上。在加载砝码时，无论加载到砝码盘的哪个位置都能保证横梁受力沿细线竖直向下，避免有其它方向的分力，从而保证对微型压力传感器压力沿导向轴和可调式传感器触头竖直向下。与采用其它托盘式结构相比，本实用新型能有效地提高标定精度。

2、传感器标定台采用粗、细螺母配重

传感器标定台本身重量在标定过程中不能忽略，本实用新型中采用粗、细螺母配置，在对压力传感器标定之前先对标定台横梁水平调平衡，以抵消标定装置本身重量对压力传感器受力的影响。本实用新型在横梁右端采用一个粗调平螺母和细调平螺母对标定台进行水平调平衡。在标定前，首先调节粗调平螺母使标定台横梁处于一个基本水平状态，然后再缓慢调节细调平螺母，使横梁保持一个较好的平衡状态。采用粗细调平螺母配重，调节方便，同时保证了传感器标定精度。

3、可对受力接触点很小的微型压力传感器进行标定。

由于微型压力传感器结构精细，一般采用点接触方式接受外界的压力，接触点面积较小，因而不能直接利用砝码对传感器进行标定。本实用新型采用传感器触头直接接触压力传感器的受力敏感部位，通过导向轴与传感器触头将压力传递给微型压力传感器，有效地解决了难以直接采用砝码对传感器进行标定的问题，实现了传感器的精确标定。

4、可对不同类型接触点的微型压力传感器进行标定