[实用新型]硅料专用烘箱无效
申请号: | 201020022311.5 | 申请日: | 2010-01-20 |
公开(公告)号: | CN201593899U | 公开(公告)日: | 2010-09-29 |
发明(设计)人: | 蒋新民 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | F26B9/06 | 分类号: | F26B9/06;F26B3/02;F26B21/00;F26B25/22 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 专用 烘箱 | ||
1.一种硅料专用烘箱,其特征是:包括保温壳体(1)、内胆(2)、通热风道(3)、加热器(4)、循环风机(5)、抽湿风机(6)、排湿管(7)、湿度传感器(8)和温度传感器(9),内胆(2)置于保温壳体(1)内,在内胆(2)的顶部设有高温气腔(10),高温气腔(10)由内胆(2)的顶部与保温壳体(1)的内腔顶部围合成,高温气腔(10)通过透气孔(13)与内胆(2)的内腔相通;所述通热风道(3)由保温壳体(1)的内腔与内胆(2)围合而成,加热器(4)设置在通热风道(3)内,通热风道(3)通过透气孔(13)与内胆(2)的内腔相通;在高温气腔(10)与通热风道(3)之间装有循环风机(5),抽湿风机(6)安装在保温壳体(1)的顶部,抽湿风机(6)的吸风口与内胆(2)的内腔相通;在内胆(2)的内腔中设有温度传感器(9)和湿度传感器(8),加热器(4)由温度传感器(9)控制,湿度传感器(8)控制整个烘箱。
2.根据权利要求1所述硅料专用烘箱,其特征是:所述通热风道(3)由左风道(31)、右风道(32)、后风道(33)和下风道(34)组成,在左风道(31)、右风道(32)、后风道(33)和下风道(34)中都设有加热器(4),抽湿风机(6)通过排湿管(7)与内胆(2)的内腔相通。
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