[实用新型]一种镀膜机用镀膜夹具

说明书

技术领域：

本实用新型涉及薄膜制备设备技术领域，具体涉及一种镀膜机用镀膜夹具。

背景技术：

传统的镀膜机中，所使用的夹具一般有两种：只具有公转的夹具或者行星夹具。对于只带有公转夹具的镀膜机，所沉积的薄膜均匀性差，能满足小面积零件的要求，但是在做大面积零件时，不能满足使用的要求，使用遮挡片技术，可以提高均匀性，但过程复杂，重复性不好。带有行星夹具的镀膜机，可以有效地改善上述问题，但是对于回转零件的表面镀膜，不能实现薄膜的均匀性，成膜的质量不理想。

实用新型内容：

本实用新型要提供一种镀膜机用镀膜夹具，以克服现有技术存在的不能实现薄膜的均匀性和成膜的质量不理想的问题。

为了克服现有技术存在的问题，本实用新型提供的技术方案是：一种镀膜机用镀膜夹具，包括设置于公转轴上的公转盘、其特殊之处在于，还包括工转盘上均布设置的多组自转组件，所述每个自转组件均包括固定齿轮、自转齿轮、支撑管、自转轴、自转盘齿、锥齿轮、工件架和自转盘，所述固定齿轮为圆形，其与公转盘同轴设置且和自转齿轮啮合联接；自转齿轮的下部通过穿设于公转盘上的自转轴与自转盘固定联接；自转轴通过止推轴承和支撑管转动连接；支撑管固联在公转盘上，自转盘齿和支撑管固联，自转轴下端和自转盘固联；多个锥齿轮通过轴承均设于自转盘的外周，并和自转盘齿啮合，锥齿轮和工件架固联。

上述自转轴与支撑管之间设置有止推轴承。保证自转轴在支撑管内灵活地转动并且支撑自转轴。

与现有技术相比，本实用新型的优点是：被加工的零件具有了公转、自转和本身的回转三个方向的运动，可以满足表面面型复杂的回转零件的膜层的均匀性要求。用于沉积任意面型回转零件的表面镀膜，可得到良好的均匀性，从而有效地提高成膜质量。

附图说明：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的A-A剖视图；

图3是自转盘齿的剖面图；

图4是自转盘的结构示意图

图5是图4的B向视图；

图6是锥齿轮结构示意图。

附图标记说明如下：

1-公转盘，2-固定齿轮，3-自转齿轮，4-支撑管，5-自转轴，6-自转盘齿，7-锥齿轮，8-工件架，9-自转盘，10-止推轴承。

具体实施方式：

下面将结合附图对本实用新型进行详细地描述。

参见图1～图6，一种镀膜机用镀膜夹具，包括设置于公转轴上的公转盘1和工转盘1上均布设置的多组自转组件。所说的每个自转组件均包括固定齿轮2、自转齿轮3、支撑管4、自转轴5、自转盘齿6锥齿轮7、工件架8、自转盘9和止推轴承10，所述固定齿轮2为圆形，其与公转盘1同轴设置且和自转齿轮3啮合联接；自转齿轮3的下部通过穿设于公转盘1上的自转轴5与自转盘9固定联接。所说的自转轴5通过止推轴承10和套设于外部的支撑管4转动连接，保证自转轴5在支撑管4内灵活地转动并且支撑自转轴5；支撑管4固联在公转盘1上，自转盘齿6和支撑管4固联，自转轴5下端和自转盘9固联。多个锥齿轮7通过轴承均设于自转盘9的外周，并和自转盘齿6啮合，锥齿轮7和工件架8固联。

设备安装时，固定齿轮2固定在真空墙体上。使用时，把需要镀膜的工件置于工件架上。在外力作用下，公转盘1首先具有公转运动，带动自转组件绕公转轴转动，由于固定齿轮2不动，因此自转齿轮3带动自转轴5自转。因此自转盘9具有自转运动。支撑管4固联在公转盘1上，而自转盘齿6和支撑管4固联，因此自转盘齿6不具有自转运动。设置在自转盘9上的锥齿轮7和自转盘齿6具有相对运动，带动工件架8具有了水平方向的自转运动。所以工件架8具有公转、垂直方向的自转和水平方向的自转。这样就可以实现公转、自转和零件的回转三种运动，在回转零件表面上可沉积均匀的薄膜，提高成膜质量。