[发明专利]滤材泄漏检测装置及滤材泄漏检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种滤材泄漏检测装置及滤材泄漏检测方法，且特别涉及一种能够提高检测速度及辨识率的滤材泄漏检测装置及滤材泄漏检测方法。

背景技术

随着人类工业技术的演进，许多新型态的实验、工厂的制造程序，都需要越来越高的洁净度，其他甚至是为了居住的环境或是安全的考量，都希望能够尽可能地减少室内空气中的污染物。为了因应各种环境下的需求，许多空气过滤材料陆续被开发出来，藉此以提供初级微粒(High Efficiency Particulate Air，HEPA)的洁净空气，或是更高洁净度的超微粉尘颗粒空气(Ultra-Low Particulate Air，ULPA)。

由于滤材的优劣将会对生产或是安全造成极大的影响，为了提升滤材的可靠度，必须对滤材是否泄漏加以检测。但，在已知的检测方式中，检测人员大多是以手持粒子计数器的方式在滤材表面附近进行扫描的动作，以检测出滤材中的泄漏位置。然而，此检测方式极为耗时，且检测人员在长时间的作业下，其检测泄漏的辨识度逐步下降至约60％左右。因此，如何开发出一种辨识度高，检测时间更短的滤材泄漏检测装置及检测方法，实为研发者所亟达成的目标之一。

此外，在美国专利号US 6,177,678、US 7,334,490B2、US 4,494,403、US 7,201,039 B2、US 7,210,363 B2、US 7,669,490 B2、US 7,649,174 B2、US 4,772,789、US 4,612,797、US 5,001,346、US 6,177,678 B1、美国专利公开号US 2006/027301 A1、冈亭式气罩设计规范研究中也提出了多种滤材泄漏检测装置及方法。

发明内容

本发明提出一种滤材泄漏检测装置，其可节省针对滤材进行检测时所需时间，且其辨识度高。

本发明提出一种滤材泄漏检测方法，此方法可节省针对滤材进行检测时所需时间且辨识度高。

本发明提出另一种滤材泄漏检测方法，此方法可也节省针对滤材进行检测时所需时间且辨识度也高。

本发明提出一种滤材泄漏检测装置，此装置包括气胶供应单元、滤材固定单元以及测漏单元。气胶供应单元具有气胶输出端，此气胶供应单元适于供应气胶至气胶输出端。滤材固定单元将滤材固定于气胶输出端。测漏单元包括扫描模组、影像撷取单元以及判断单元。扫描模组提供扫描光线并使扫描光线在与滤材平行的平面上移动，当滤材具有破孔时，气胶从破孔泄漏而使扫描光线在对应于破孔的位置被散射。影像撷取单元撷取滤材的影像。判断单元与影像撷取单元连接，其中判断单元接收影像并从影像中判断出扫描光线被散射的位置。

本发明提出一种滤材泄漏检测方法，此方法包括提供气胶至滤材的一侧。利用测漏单元于滤材的另一侧检测滤材是否泄漏，而测漏单元包括扫描模组、影像撷取单元以及判断单元。扫描模组提供扫描光线并使扫描光线在与滤材平行的平面上移动，当滤材具有破孔时，气胶从破孔泄漏而使扫描光线在对应于破孔的位置被散射。影像撷取单元撷取滤材的影像。判断单元与影像撷取单元连接，其中判断单元接收影像并从影像中判断出扫描光线被散射的位置。

本发明提出另一种滤材泄漏检测方法，此方法包括提供气胶至滤材的一侧。于滤材的另一侧提供扫描光线并使扫描光线在与滤材平行的平面上移动，当滤材具有破孔时，气胶从破孔泄漏而使扫描光线在对应于破孔的位置被散射。于滤材的另一侧撷取滤材的影像。从影像中判断出扫描光线被散射的位置。

在本发明的一实施例中，上述的扫描模组沿着第一方向移动，而第一方向实质上垂直于扫描光线的传递方向。

在本发明的一实施例中，上述的扫描模组包括线性位移机构以及光源。线性位移机构沿着第一方向移动，而第一方向实质上垂直于扫描光线的传递方向。光源配置于线性位移机构上以提供扫描光线。

在本发明的一实施例中，上述的扫描光线为雷射光。

在本发明的一实施例中，上述的滤材位于气胶供应单元与影像撷取单元的间。

在本发明的一实施例中，上述的滤材泄漏检测装置可进一步包括位移机构，其中影像撷取单元配置于位移机构上以调整影像撷取单元与滤材的间的相对位置。

在本发明的一实施例中，上述的平面位于影像撷取单元与滤材的间。