[发明专利]电路板制作方法有效
申请号: | 201010620498.3 | 申请日: | 2010-12-23 |
公开(公告)号: | CN102548231A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 苏新虹;朱兴华 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司 |
主分类号: | H05K3/28 | 分类号: | H05K3/28 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100871 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电路板 制作方法 | ||
1.一种电路板制作方法,其特征在于,包括:
对完成选择性电镀镍金后的基板进行退膜处理,所述基板的镍层连接金层和铜层;
对所述基板进行干膜处理,在所述金层和铜层的表面上形成保护干膜,或者在所述铜层表面形成保护干膜;
对所述基板的种子层进行蚀刻处理。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,对所述基板进行干膜处理,包括:
在所述基板的金层表面、铜层表面和种子层表面形成干膜;对覆盖在所述基板的种子层表面的干膜进行曝光;对所述基板进行显影;对所述基板进行微蚀处理,去除干膜中的非保护部分;在所述金层和铜层的表面上形成保护干膜;
或者,
在所述基板的金层表面、铜层表面和种子层表面形成干膜;对覆盖在所述基板的种子层表面和金层表面的干膜进行曝光;对所述基板进行显影;对所述基板进行微蚀处理,去除干膜中的非保护部分;在所述铜层的表面上形成保护干膜。
3.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,对基板进行退膜处理,包括:采用退膜液对所述基板进行退膜处理,裸露所述基板的金层表面、铜层表面和种子层表面,所述退膜液优选为碱性退膜液。
4.如权利要求1~3任一项所述的方法,其特征在于,对所述基板进行显影,包括:采用显影液对曝光后的干膜进行显影,去除干膜中的非保护部分。
5.如权利要求1~4任一项所述的方法,其特征在于,对所述基板进行微蚀处理,包括:采用微蚀液对所述基板进行微蚀处理,所述微蚀液优选为酸性液体。
6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述微蚀液为硫酸和双氧水的混合液,或者为硫酸和过硫酸钠的混合液。
7.如权利要求1~6任一项所述的方法,其特征在于,对所述基板的种子层进行蚀刻处理,包括:将所述种子层中露出的部分蚀刻掉。
8.如权利要求1~7任一项所述的方法,其特征在于,还包括:
对所述基板的种子层进行蚀刻处理之后,对所述基板进行保护干膜退膜处理。
9.如权利要求1~8任一项所述的方法,其特征在于,对所述基板进行干膜处理,包括:
对所述基板进行丝印水干膜处理;
在所述基板的金层表面和铜层表面或者在铜层表面,形成保护干膜,所述保护干膜为水干膜。
10.如权利要求1~9任一项所述的方法,其特征在于,所述基板为基于加成法或半加成法工艺所形成的基板。
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