[发明专利]真空溢流阀及样本分析仪

说明书

技术领域

本发明涉及一种控制气压的阀门，特别是一种真空溢流阀。

背景技术

为了控制气路中的气压，通常会使用调压阀或溢流阀。比如，在以负压为驱动力的设备中，为限制真空泵的最大输出真空，一般都会使用真空溢流阀。现有技术中，真空溢流阀结构如图1所示，图中1为调节旋钮、2为弹簧盖板、3为第一阀体，4为调节弹簧，5为膜片锁紧环，6为第二阀体，7为反馈通道，8为二次压力出口，9为阀嘴，10为溢流口，11为膜片，12为膜片卡座，13为主弹簧，14为阀杆，15为阀芯，16为一次压力入口，17为反馈腔，18为负压腔。

一般使用条件下，溢流口10直接与大气相连，一次压力入口16接入过滤器后与大气相连，一次压力入口16接入需要限制最大压力的负压回路。

在调节完成后，膜片卡座12受到的四个力：主弹簧弹力、调节弹簧弹力，反馈腔压力和负压腔压力形成平衡，此时阀嘴9与阀芯15之间的间隙大小不变，即溢流流量维持不变，二次压力出口8处的压力维持不变。当二次压力出口处真空度增加时(即绝对压力降低)，负压腔18对膜片卡座12压力减小，带动阀芯向下移动，使得更多的气体进入二次压力出口，使得二次压力出口8的真空度降低，溢流流量变大，从而达到限制最大真空的作用。

现有方案有3个不足：

1.因为阀杆14穿过阀嘴9，而阀杆本身因为强度受强度影响，不能太细，因此阀嘴9内径也不能太小，当溢流阀溢流流量较小时，溢流阀的调节真空度的灵敏度较低。

2.阀芯15与膜片卡座12分别处于阀嘴9的两侧，阀杆14需要穿过阀嘴9中间，从而使得阀芯15的固定方式较复杂；

3.整个溢流阀结构复杂。

因此，本领域需要开发一种在小流量下调节更灵敏，结构更简单，安装方便的真空溢流阀。

发明内容

现有溢流阀的主要问题是阀芯与膜片卡座位于阀嘴的两侧，两者之间需要使用固件连接，限制了阀嘴的最小直径，导致溢流阀在小流量下灵敏度不足。为解决该问题，本发明将阀嘴设计在分隔组件上，阀杆不必穿过阀嘴，阀嘴直径就可以设计的较小以提高灵敏度。

本发明公开的一种真空溢流阀，包括阀体、阀芯、阀嘴，阀体围成的负压腔和反馈腔，反馈腔设有一次压力入口，负压腔设有二次压力出口，负压腔和反馈腔之间有分隔组件，分隔组件上设有阀嘴，阀芯与阀体或分隔组件通过阀杆连接，阀嘴与阀芯配合，负压腔或反馈腔内有弹簧，弹簧的一端连接分隔组件，另一端连接负压腔或反馈腔内壁。

本发明还公开了一种样本分析仪，包括上述的真空溢流阀。

本发明的真空溢流阀，阀嘴设置在分隔组件上，阀嘴的直径可以做得较小，提高溢流量调节的灵敏度，特别是在小流量的情况下。相比现有的真空溢流阀，没有穿过阀嘴的阀杆，安装方便，结构简单。

附图说明

图1为现有的真空溢流阀的结构示意图；

图2为本发明一个实施例的真空溢流阀的结构示意图；

图3为本发明另一个实施例的真空溢流阀的结构示意图。

具体实施方式

本发明的其它方面和优点在阅读以下描述和具体实施方案后将变得显而易见。