[发明专利]等离子体监测方法和等离子体监测装置

权利要求书

1.一种等离子体监测方法，其特征在于，具有如下工序：

将透明的绝缘管插入并装配在可生成或导入等离子体的容器室内的工序；

将前端具有感光面的棒状光传输探针插入所述绝缘管的管内，使从所述容器内的等离子体发出的光通过所述绝缘管入射到所述探针的感光面的工序；和

根据从所述探针另一端面放射的光，测量来自所述等离子体的发光的工序。

2.根据权利要求1所述的等离子体监测方法，其特征在于，

使所述探针在所述绝缘管中沿轴向移动，测量所述等离子体光，作为轴向的空间分布。

3.根据权利要求2所述的等离子体监测方法，其特征在于，

使所述探针的轴向与所述容器的径向一致。

4.根据权利要求1所述的等离子体监测方法，其特征在于，

使所述探针与所述绝缘管一体沿高度方向移动，测量所述等离子体光，作为高度方向的空间分布。

5.一种等离子体监测方法，其特征在于，具有如下工序：

在可生成或导入等离子体的容器侧壁上设置可开闭的开口部的工序；

将所述开口部设为开状态，将前端具有感光面的棒状光传输探针在减压空间中从所述开口部插入所述容器内的工序；和

根据从所述探针另一端面放射的光，测量来自所述等离子体的发光的工序。

6.根据权利要求5所述的等离子体监测方法，其特征在于，

使所述探针在所述容器内沿轴向移动，求出所述等离子体光相对移动距离的变化量，测量所述等离子体光，作为所述探针轴向上的所述容器内的空间分布。

7.根据权利要求6所述的等离子体监测方法，其特征在于，

使所述探针的轴向与所述容器的径向一致。

8.一种等离子体监测装置，其特征在于，具有：

透明绝缘管，插入并装配在可生成或导入等离子体的容器室内；

棒状光传输探针，前端具有感光面、从所述绝缘管的一端插入管内；和

测量部，根据从所述探针另一端面放射的光，测量来自所述等离子体的发光。

9.根据权利要求8所述的等离子体监测装置，其特征在于，

所述探针由石英或蓝宝石构成。

10.根据权利要求8所述的等离子体监测装置，其特征在于，

所述探针具有由石英或蓝宝石构成的芯体、和包围所述芯体周围的包层。

11.根据权利要求8所述的等离子体监测装置，其特征在于，

所述探针具有遮光性的被膜。

12.根据权利要求8所述的等离子体监测装置，其特征在于，

所述探针具有收束成一体的多条光纤、和包围这些光纤的周围的耐热性非金属部件。

13.根据权利要求12所述的等离子体监测装置，其特征在于，

所述非金属部件由聚酰亚胺构成。

14.根据权利要求8所述的等离子体监测装置，其特征在于，

所述绝缘管由石英或蓝宝石构成。

15.根据权利要求8所述的等离子体监测装置，其特征在于，

在所述探针的前端部设置反射镜，用于反射来自期望角度的所述等离子体光并使之入射到所述探针的感光面。

16.根据权利要求15所述的等离子体监测装置，其特征在于，

所述反射镜的反射面由铝构成。

17.根据权利要求15所述的等离子体监测装置，其特征在于，

在所述探针的前端部设置包围所述感光面与所述反射镜的遮光部件，在所述遮光部件中设置将来自期望角度的等离子体光通向所述反射镜的窗。

18.根据权利要求17所述的等离子体监测装置，其特征在于，

斜切所述探针的端部，使所述探针的感光面的法线相对轴向向所述窗侧仅倾斜规定角度。

19.根据权利要求8所述的等离子体监测装置，其特征在于，

在相对设置在所述容器侧壁中的第一支撑部与第二支撑部之间，实质架设所述绝缘管。

20.根据权利要求8所述的等离子体监测装置，其特征在于，

具有使所述探针向轴向移动的致动器。