[发明专利]镀膜件及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种镀膜件及其制备方法，尤其涉及一种具有热致变色效果的镀膜件及该镀膜件的制备方法。

背景技术

二氧化钒(VO₂)是一种过渡金属氧化物，由于其具有良好的热致变色特性，已成为功能材料领域研究的热点。VO₂在T_c＝68℃时可发生由低温绝缘体态向高温金属态快速可逆的一级位移型相变。伴随着晶体结构的转变，VO₂的光学、电学、磁学等物理性质也发生了较大幅度的变化。当T＞T_c时VO₂对红外光具有高透射性，T＜T_c时则对红外光具有高反射性，VO₂的这种光学性质随温度可逆改变的现象称为热致变色。

由于VO₂的热致变色温度相对较高，目前对VO₂的研究主要集中于如何降低VO₂的热致变色温度。研究表明，通过掺杂Ti、Mo或W等元素可降低VO₂的热致变色温度；且目前通过掺杂最低可使VO₂的相变温度降低到30℃以下。为满足不同智能温度需求并扩大VO₂的应用，还需进一步降低VO₂的致变色温度。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种能进一步降低VO₂的热致变色温度的镀膜件。

另外，还有必要提供一种上述镀膜件的制备方法。

一种镀膜件，包括基体及形成于基体表面的热致变色层，该热致变色层为M和R掺杂的二氧化钒层，其中M为钛、铌、钼及钨的一种或以上，R为铑、钯及钌中的一种或以上。

一种镀膜件的制备方法，其包括如下步骤：

提供一基体；

在基体表面形成热致变色层，该热致变色层为M和R掺杂的二氧化钒层，其中M为钛、铌、钼及钨的一种或以上，R为铑、钯及钌中的一种或以上；该热致变色层采用磁控溅射法形成，使用一合金靶，所述合金靶中含有金属M、金属R和金属钒，其中金属M的原子百分含量为10～15％，金属R的原子百分含量为2～5％，剩余的为金属钒。

本发明所述镀膜件在基体的表面沉积热致变色层，该热致变色层通过在掺杂M的二氧化钒中同时掺杂R，进一步降低了二氧化钒的热致变色温度，使其具有更加优异的变色性能；且该热致变色层具有良好的可逆性，可有效地提高镀膜件的使用寿命。

附图说明

图1为本发明一较佳实施例镀膜件的剖视图；

图2为本发明一较佳实施例真空镀膜机的示意图。

主要元件符号说明

镀膜件    10

基体      11

热致变色层13

真空镀膜机20

镀膜室    21

合金靶    23

轨迹      25

真空泵    30

具体实施方式

请参阅图1，本发明一较佳实施方式的镀膜件10，其包括基体11及形成于基体11上的热致变色层13，该热致变色层13为M和R掺杂的二氧化钒层，其中该热致变色层13中钒、M与R的原子百分比为钒∶M∶R＝17.4～18.8∶1～2∶0.2～0.6；其中M可为钛(Ti)、铌(Nb)、钼(Mo)及钨(W)中的一种或以上，M优选钼或钨，R可为铑(Rh)、钯(Pd)及钌(Ru)中的一种或以上。

该基体11可为不锈钢、铝合金、镁合金、玻璃、陶瓷或塑料。

该热致变色层13可以磁控溅射的方式形成。该热致变色层13的厚度可为500～800nm。

本发明一较佳实施方式的镀膜件10的制备方法，其包括如下步骤：

提供一基体11，该基体11可为不锈钢、铝合金、镁合金、玻璃、陶瓷或塑料。

将基体11放入无水乙醇中进行超声波清洗，以去除基体11表面的污渍，清洗时间可为5～10min。

对经上述处理后的基体11的表面进行氩气等离子体清洗，以进一步去除基体11表面的油污，以及改善基体11表面与后续镀层的结合力。结合参阅图2，提供一真空镀膜机20，该真空镀膜机20包括一镀膜室21及连接于镀膜室21的一真空泵30，真空泵30用以对镀膜室21抽真空。该镀膜室21内设有转架(未图示)和相对设置的二合金靶23。转架带动基体11沿圆形的轨迹25公转，且基体11在沿轨迹25公转时亦自转。