[发明专利]多倍率成像光学系统有效

专利信息
申请号: 201010613402.0 申请日: 2010-12-30
公开(公告)号: CN102096192A 公开(公告)日: 2011-06-15
发明(设计)人: 王忠生;汤建华 申请(专利权)人: 长春光华微电子设备工程中心有限公司
主分类号: G02B27/00 分类号: G02B27/00;G02B27/10;G02B1/10
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 王淑秋
地址: 130033 吉林省*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 倍率 成像 光学系统
【权利要求书】:

1.一种多倍率成像光学系统,包括光源(33)和N个倍率光路;其特征在于所述光源(33)可输出N个不同波长的光束,物体(31)反射的N个不同波长的光束分别经过对应的倍率光路成像于像面上。

2.根据权利要求1所述的多倍率成像光学系统,其特征在于所述光源(33)可发出两种波长光束;主光路成像透镜(32)、第一支路前分光镜(34)、第一支路成像透镜(35)、第一支路后分光镜(36)组成第一倍率光路;主光路成像透镜(32)、第一支路前分光镜(34)、第一支路成像透镜(35)、第一支路后分光镜(36)、第二支路前反射镜(44)、第二支路成像透镜(45)、第二支路后反射镜(46)组成第二倍率光路;光源(33)发出的第一波长的光束照射于物体(31)时,物体(31)反射的第一波长的光经第一倍率光路成像于像面(38)上;光源(33)发出的第二波长的光束照射于物体(31)时,物体(31)反射的第二波长的光经第二倍率光路成像于像面(38)上。

3.根据权利要求2所述的多倍率成像光学系统,其特征在于所述第一支路前分光镜(34)的前表面(341)和第一支路后分光镜(36)的后表面(362)镀制有对第一波长的光束具有高透过率,而对第二波长的光束具有高反射率的光学薄膜;第二支路前反射镜(44)的前表面(441)和第二支路后反射镜(46)的前表面(461)镀制有对第二波长的光束具有高反射率的光学薄膜。

4.根据权利要求3所述的多倍率成像光学系统,其特征在于第一支路前分光镜(34)的后表面(342)和第一支路后分光镜(36)的前表面(361)镀制有对第一波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

5.根据权利要求3或4所述的多倍率成像光学系统,其特征在于第一支路成像透镜(35)的表面镀制有对第一波长的光束具有高透过率的光学薄膜,第二支路成像透镜(45)的表面镀制有对第二波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

6.根据权利要求1所述的多倍率成像光学系统,其特征在于所述光源(33)可发出四种波长光束;第一倍率光路包括主光路成像透镜(32)、第一支路前分光镜(34)、第一支路成像透镜(35)和第一支路后分光镜(36);第二倍率光路包括主光路成像透镜(32)、第一支路前分光镜(34)、第一支路成像透镜(35)、第一支路后分光镜(36)、第二支路前分光镜(44)、第二支路成像透镜(45)和第二支路后分光镜(46);第三倍率光路包括主光路成像透镜(32)、第一支路前分光镜(34)、第一支路成像透镜(35)、第一支路后分光镜(36)、第二支路前分光镜(44)、第二支路成像透镜(45)和第二支路后分光镜(46)、第三支路前分光镜(54)、第三支路成像透镜(55)和第三支路后分光镜(56);第四倍率光路包括主光路成像透镜(32)、第一支路前分光镜(34)、第一支路成像透镜(35)、第一支路后分光镜(36)、第二支路前分光镜(44)、第二支路成像透镜(45)和第二支路后分光镜(46)、第三支路前分光镜(54)、第三支路成像透镜(55)、第三支路后分光镜(56)、第四支路前反射镜(64)、第四支路成像透镜(65)和第四支路后反射镜(66);光源(33)发出的第一波长的光束照射于物体(31)时,物体(31)反射的第一波长的光经第一倍率光路成像于像面(38)上;光源(33)发出的第二波长的光束照射于物体(31)时,物体(31)反射的第二波长的光经第二倍率光路成像于像面(38)上;光源(33)发出的第三波长的光束照射于物体(31)时,物体(31)反射的第三波长的光经第三倍率光路成像于像面(38)上;光源(33)发出的第四波长的光束照射于物体(31)时,物体(31)反射的第四波长的光经第四倍率光路成像于像面(38)上。

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