[发明专利]发电用太阳能高温集热管镀膜方法及卧式镀膜机

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空镀膜专用设备，特别是一种发电用太阳能高温集热管镀膜方法及卧式镀膜机，是专用于镀制太阳能槽式发电用高质量真空太阳能高温集热管的方法和设备。

背景技术

现在国内市场最常见的集热管镀膜机都是立式结构，生产出的中、低温集热管长度大都在1.5-2.1米以内，结构形式为双层单端开口，且用水作为传热介质，导热温度要求不高，主要用于太阳能热水器及其他热水工程等使用，不能满足太阳能发电用高温集热管的需要。发电用高温真空集热管结构形式为双层双端开口，是在直径70、长度4060的合金管上镀制光选择性吸收涂层, 它用高温油作为传热介质，与普通中、低温集热管相比, 除结构形式不一样外，而且它更大更长,导热温度要求高,对光选择性吸收涂层的吸收比、发射比及牢固度、热膨胀性能都有更高的要求。

采用太阳能光伏发电成本太高，而采用光热转换太阳能槽式发电相对成本低、效率高且在世界多国已有成功案例。太阳能槽式发电是一个复杂的系统工程。在我国尚处于发展起步阶段。生产出高质量的发电用高温真空集热管，是解决这个复杂的系统工程当中的几大核心技术难点之一。

发明内容

本发明的目的之一是在克服上述现有技术的不足，而提供一种发电用太阳能高温集热管镀膜方法，以满足镀制太阳能槽式发电用太阳能高温集热管的需要。

实现本发明上述目的的技术方案是：一种发电用太阳能高温集热管镀膜方法，将立式结构的镀膜真空室改为卧式结构的镀膜真空室，真空室采用圆柱形卧式上开门结构，以解决超长管镀膜所引起的设备超高、厂房超高、使用维护困难的难题。

本发明进一步的技术方案是：真空室极限压力为1.3×10^-3Pa，恢复真空时间从大气到6.7×10^-3Pa≤15min，升压率≤ 8×10^-1Pa。

本发明更进一步的技术方案是：镀膜前加负800-1500V偏压电源或离子源，充Ar进行氩离子轰击清洗，以增加膜层与条带附着力；镀膜时，工件架电悬浮或接地。

本发明再进一步的技术方案是: 整套设备冷却水采用洁净的去离子水，各水路独立控制，进水温度要求不高于18-25℃，总水压0.15Mpa～0.3 Mpa。

本发明的目的之二是在克服上述现有技术的不足，而提供一种结构合理、使用方便的发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机，以满足镀制太阳能槽式发电用太阳能高温集热管的需要。

实现本发明上述目的的技术方案是：一种发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机，包括圆柱形卧式上开门结构的真空室、靶安装管件、工件架、固定齿盘、支承轮和旋转驱动机构，真空室在长度方向均布有多套独立的真空抽气装置，靶安装管件通过左、右法兰安装在真空室内的左、右侧板上，其上通过安装法兰安装有平面磁控靶或/和旋转园柱磁控靶；工件架是可整体吊装的可旋转工件架，其安放在四个支承轮上，包括转盘、齿盘、连杆和工件装取机构，转盘和齿盘分别安装在靶安装管件的左、右两端，并用连杆连接，齿盘外周有齿，工件装取机构一端有与固定齿盘啮合的自转齿轮，另一端用于安装工件；固定齿轮通过支承柱固定在真空室的右侧板上，其外周有与自转轴一端的自转齿轮啮合的齿，旋转驱动机构是为工件架的运动提供动力的齿轮传动机构，它包括动力输入轴和动力输入轴连接的驱动齿轮，驱动齿轮与转盘啮合。

本发明进一步的技术方案是：靶安装管件上还通过隔板座安装有隔板，将靶与靶之间合理隔开，避免交叉污染。

本发明更进一步的技术方案是：隔板采用活页式可插拔结构。

本发明再进一步的技术方案是:工件装取机构采用可伸缩的自转轴结构。

本发明采用如上技术方案，与现有技术相比，具有如下特点：

1、在现有集热管镀膜机的基础上将立式结构改为卧式结构，破解了超长管镀膜所引起的设备超高、厂房超高、使用维护等许多难题；

2、工件架上的工件装取机构采用可伸缩的自转轴结构，解决了超长管工件装取的困难，方便可靠；

3、在现有集热管镀膜机的基础上增加了偏压电源（或离子源），对工件金属管轰击清洗，使膜的质量更好更牢固；

4. 采用分子泵组成真空抽气系统，比油扩散泵节能70％以上，且节省辅助工作时间，生产节拍更加紧凑，没有油气污染，膜层的质量更有保证。

以下结合附图和具体实施方式对本发明的详细结构作进一步描述。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为图1的A-A剖视图。

具体实施方式