[发明专利]修补掩模板的设备及方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体、光电子及电子设备领域，尤其涉及一种修补掩模板的设备及方法。

背景技术

掩模板是在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。在半导体行业中，掩模板被反复使用。

由于掩模板的反复使用会导致掩模板上存在被污染或被残损的缺陷，在掩模板上存在缺陷时，通过掩模板制备的成品就会是不良品。在对不良品进行质检时能够获知掩模板上缺陷的位置。掩模板上被污染的缺陷，如图1所示的掩模板上的粘连11、边线毛刺12等，称之为黑点类不良，可以通过激光器对其进行切割实现对掩模板的还原。然而，掩模板上被残损的缺陷，如图1所示的掩模板上的开口13、针孔14等，称之为非黑点类不良，在掩模板上存在非黑点类不良时，无法对其做还原操作，而是直接将该掩模板弃用，是一种资源的浪费。

发明内容

本发明实施例提供修补掩模板的设备和方法，用以解决由于非黑点类不良导致掩模板被弃用的问题。

为达到上述目的，本发明实施例采用如下技术方案：

一种修补掩模板的设备，包括修理平台，还包括控制单元，所述控制单元通过控制线与所述修理平台连接，所述修理平台上设有光阻注射器和光阻凝固装置，所述控制单元根据待修补掩模板上缺陷的缺陷属性控制所述光阻注射器和所述光阻凝固装置对所述待修补掩模板上的缺陷进行修补，所述缺陷属性包括所述待修补掩模板上缺陷的大小和位置信息。

具体的，所述控制单元，包括截取所述待修补掩模板上缺陷属性的截取模块、光阻注射器控制模块和光阻凝固装置控制模块；

所述截取模块通过信号线与所述光阻注射器控制模块连接，所述截取模块通过所述信号线将待修补掩模板上缺陷的大小、位置信息传输给所述光阻注射器控制模块，所述光阻注射器控制模块根据所述缺陷的大小、位置信息控制所述光阻注射器对待修补掩模板上的缺陷进行修补；

所述光阻注射器控制模块通过信号线与所述光阻凝固装置控制模块连接，所述光阻注射器控制模块将光阻注射器关闭信号和所述缺陷的大小、位置信息传输给所述光阻凝固装置控制模块，所述光阻凝固装置控制模块根据光阻注射器关闭信号和所述缺陷的大小、位置信息控制所述光阻凝固装置的开启以及凝固所述光阻注射器注射出来的光阻剂。

进一步的，为了使得所述设备对非黑点类不良的修补更简便，所述修理平台上还设有激光器，所述控制单元根据所述待修补掩模板上缺陷的缺陷属性控制所述激光器对所述待修补掩模板上的缺陷进行切除处理，获得轮廓规则的缺陷，所述缺陷属性还包括待修补掩模板上缺陷的类型。

具体的，所述控制单元包括截取所述待修补掩膜板上缺陷的缺陷属性截取模块、激光器控制模块、光阻注射器控制模块和光阻凝固装置控制模块；

所述截取模块通过信号线与所述激光器控制模块连接，所述截取模块通过所述信号线将待修补掩模板上缺陷的类型、大小和位置信息传输给所述激光器控制模块；

在所述缺陷为非黑点类不良，且所述缺陷的轮廓不规则时，所述激光器控制模块根据所述缺陷的类型、大小和位置信息控制所述激光器对所述缺陷进行切除处理，所述激光器发射的激光光束的横截面将所述缺陷覆盖，获得轮廓规则的缺陷；

所述激光器控制模块通过信号线与所述光阻注射器控制模块连接，所述激光器控制模块将所述缺陷的类型和所述激光器发射激光的激光属性通过信号线传输给所述光阻注射器控制模块，所述光阻注射器控制模块根据所述缺陷类型和所述激光属性控制所述光阻注射器对待修补掩模板上的轮廓规则的缺陷进行修补，所述激光属性包括激光器发射激光光束的横截面面积、所述激光光束的波长、功率以及所述激光光束照射在所述待修补掩模板上的位置信息；

所述光阻注射器控制模块通过信号线与所述光阻凝固装置控制模块连接，所述光阻注射器控制模块将光阻注射器关闭信号和所述激光属性传输给所述光阻凝固装置控制模块，所述光阻凝固装置控制模块根据光阻注射器关闭信号和所述激光属性控制所述光阻凝固装置的开启以及凝固所述光阻注射器注射出来的光阻剂。

具体的，所述光阻注射器包括光阻存储槽以及位于所述光阻存储槽底部的注射针头；所述光阻凝固装置为紫外光照射灯。

具体的，所述激光器包括不同放大倍率的镜头、激光遮光调节器和激光源，所述镜头通过托盘与所述激光遮光调节器连接，所述激光遮光调节器位于所述激光源的底部。

进一步的，为了避免所述待修补掩模板与所述作业平台的摩擦，所述待修补掩模板通过升降顶针固定于一作业平台之上，所述修理平台通过一龙门架置于所述作业平台之上。