[发明专利]一种直拉硅单晶炉的复投料装置无效
| 申请号: | 201010607220.2 | 申请日: | 2010-12-27 |
| 公开(公告)号: | CN102011177A | 公开(公告)日: | 2011-04-13 |
| 发明(设计)人: | 康冬辉;姚勇;徐强;张雪囡;李建弘;王林;张焕新;沈浩平 | 申请(专利权)人: | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 莫琪 |
| 地址: | 300384 天津市南开*** | 国省代码: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 直拉硅单晶炉 投料 装置 | ||
1.一种直拉硅单晶炉的复投料装置,其特征在于:所述装置由拉杆(1)、拉杆套管(2)、法兰(3)、钢制投料筒(4)、封底锥台(5)、钼螺母(6)和固定杆(7)构成;所述投料筒(4)上部外围焊接有钢制法兰(3);所述投料筒(4)内部结构由活动部件和固定部件两个部分组成;所述活动部件包括封底锥台(5)和拉杆(1),拉杆(1)下端头加工有螺纹,封底锥台(5)中心加工有通孔,拉杆(1)下端头穿过封底锥台(5)中心孔,通过用钼螺母(6)锁紧,封底锥台(5)与拉杆(1) 紧固连接;所述固定部件包括拉杆套管(2)和固定杆(7),拉杆套管(2)固定在固定杆(7)上,固定杆(7)固定在投料筒(4)内壁上;拉杆(1)套在拉杆套管(2)内,拉杆(1)上下拉动封底锥台(5),由封底锥台(5)封住投料筒底口。
2.如权利要求1所述直拉硅单晶炉的复投料装置,其特征在于:拉杆(1) 与拉杆套管(2)滑动配合。
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