[发明专利]一种从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法

权利要求书

1.一种从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)对三氯氢硅尾气进行压缩、冷凝，尾气中的SiHCl₃、SiH₂Cl₂和SiCl₄被冷凝成液体并被回收；

(b)对尾气中的不凝气体进行加热；

(c)加热后的不凝气体进入吸附系统中，氯化氢被吸附系统中填料塔内的吸附剂吸附；

(d)待填料塔停止吸附后，将净化后的HCl气体从填料塔的塔底通入，同时用负压泵从填料塔的塔顶将填料塔内停留的未被吸附的杂气抽送至中充缓冲罐，进行排杂，排杂过程保持填料塔内压强不会降低，当净化的氯化氢气体前沿移动到塔顶时，排杂结束；

(e)用真空泵从填料塔的底部将填料塔中吸附剂吸附的氯化氢抽送至氯化氢缓冲罐；

(f)将氯化氢缓冲罐中的氯化氢抽送至三氯氢硅合成炉回收利用；

2.根据权利要求1所述的从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，所述步骤(a)中：将三氯氢硅尾气压缩至0.6MPa后，再通入-30℃冷凝器进行冷凝，尾气中的SiHCl₃、SiH₂Cl₂和SiCl₄被冷凝成液体并被回收，不凝气体包括HCl、H₂、N₂，不凝气体HCl、H₂与N₂的体积比为35∶60∶5。

3.根据权利要求1所述的从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，所述步骤(b)中：将不凝气体加热至45～60℃。

4.根据权利要求1所述的从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，所述吸附系统包括5台并联的填料塔，其中，1台填料塔备用，两台填料塔处于吸附状态，两台填料塔处于脱附状态，吸附和脱附周期性相互交替进行。

5.根据权利要求1或4所述的从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，所述填料塔的高度和内径比为8～10∶1，优选10∶1。

6.根据权利要求1或4所述的从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，所述填料塔内的吸附剂为活性炭和4A分子筛，填料塔内的空隙体积占填料塔体积的32％。

7.根据权利要求6所述的从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，所述吸附剂在填料塔内自下而上的填装方式为：活性炭-4A分子筛-活性炭-4A分子筛，其填装高度比为2～3∶1∶2～3∶1，活性炭层的顶面为凸面，4A分子筛层的底面为凹面。

8.根据权利要求6所述的从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，所述吸附剂中混有活性组分ZrO₂、NiO、CuO、MnO₂、Mn₂O₃、CeO₂中的一种或多种。

9.根据权利要求1所述的从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，所述步骤(c)中：吸附的温度为45-60℃，吸附的压强为0.02-0.6MPa。

10.根据权利要求1所述的从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，所述步骤(d)中：从填料塔的塔底通入净化后的氯化氢气体的压强为0.6～0.65MPa，净化的氯化氢气体的进气流量大于或等于负压泵抽气流量。

11.根据权利要求10所述的从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，所述步骤(d)中：从填料塔的塔顶通入的净化的氯化氢气体的压强为0.62MPa，净化的氯化氢气体的进气流量等于负压泵抽气流量。