[发明专利]一种含氮胺类化合物的化学机械抛光液

权利要求书

1.一种含氮胺类化合物的化学机械抛光液，其特征在于，所述含氮胺化合物的化学机械抛光液包括有：研磨颗粒和速率提升剂；所述速率提升剂为一种或多种在与强碱介质混合过程中发生放热反应，且含有-NH-结构的氮胺化合物。

2.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述含有-NH-结构的氮胺化合物为至少含有一个端基为氨基的化合物、或至少含有两个或以上     -NH-C=NH-的结构的化合物。

3.根据权利要求2所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述至少含有一个端基为氨基的化合物为乙二胺、乙醇胺、三乙醇胺、唑类、乙二胺四乙酸或甘氨酸中的一种或多种混合。

4.根据权利要求2所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述至少含有两个或以上-NH-C=NH-的结构的化合物为双胍或聚胍中的一种或多种混合。

5.根据权利要求2所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述速率提升剂的质量百分比含量为0.5~10%。

6.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述研磨颗粒为氧化硅、氧化铝、氧化铈、聚合物颗粒中的一种或几种的混合。

7.根据权利要求2所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中，所述研磨颗粒的质量百分比含量为0.5~10%。

8.根据权利要求6所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述研磨颗粒的粒径为20~200nm。

9.根据权利要求6所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述研磨颗粒的粒径为30~100nm。

10.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，还包括pH调节剂。

11.根据权利要求10所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述pH调节剂为碱性物质。

12.根据权利要求11所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述碱性物质为四甲基氢氧化胺、四乙基氢氧化胺、四丙基氢氧化胺、氨水、氢氧化钾、乙醇胺、三乙醇胺中的一种或几种的混合。

13.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述化学机械抛光液的pH值为8.0~13.0。

14.根据权利要求13所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述化学机械抛光液的pH值为9.5~13.0。

15.根据权利要求1或10所述的含氨类化合物的化学机械抛光液，其特征在于，还包括表面活性剂、稳定剂、抑制剂、杀菌剂中的一种或几种的混合。