[发明专利]薄膜太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池，所述薄膜太阳能电池包括：

基板；

设置在所述基板上并具有多个凹凸的无机层；

设置在所述无机层上并具有多个第二凹凸的第一电极；

设置在所述第一电极上的吸收层；和

设置在所述吸收层上的第二电极。

2.如权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其中，所述第一凹凸的截面形状为半球形。

3.如权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其中，所述无机层由硅氮化物制成。

4.如权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其中，所述无机层具有的厚度为

5.如权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其中，所述第二凹凸具有不规则突出的形状。

6.一种薄膜太阳能电池的制造方法，所述方法包括：

在基板上形成无机层；

蚀刻所述无机层以形成多个第一凹凸；

在所述无机层上形成第一电极以在所述第一电极的表面上形成多个第二凹凸；

在所述第一电极上形成吸收层；和

在所述吸收层上形成第二电极。

7.如权利要求6所述的方法，其中，在于所述无机层上形成所述第一电极的步骤中，当将所述第一电极沉积在具有所述多个第一凹凸的所述无机层上时，所述第一电极的表面进行自纹饰，因而形成了所述多个第二凹凸。

8.一种薄膜太阳能电池，所述薄膜太阳能电池包括：

具有多个第一凹凸的基板；

设置在所述基板上并具有多个第二凹凸的无机层；

设置在所述无机层上并具有多个第三凹凸的第一电极；

设置在所述第一电极上的吸收层；和

设置在所述吸收层上的第二电极。

9.如权利要求8所述的薄膜太阳能电池，其中，所述多个第二凹凸按照所述多个第一凹凸的形状形成。

10.如权利要求8所述的薄膜太阳能电池，其中，所述第二凹凸的截面形状为半球形。

11.如权利要求8所述的薄膜太阳能电池，其中，所述无机层由硅氮化物制成。

12.如权利要求8所述的薄膜太阳能电池，其中，所述无机层具有的厚度为

13.如权利要求8所述的薄膜太阳能电池，其中，所述第三凹凸具有不规则突出的形状。

14.一种薄膜太阳能电池的制造方法，所述方法包括：

蚀刻基板的表面以形成多个第一凹凸；

在所述基板上形成无机层以在所述无机层的表面上形成多个第二凹凸；

在所述无机层上形成第一电极以在所述第一电极的表面上形成多个第三凹凸；

在所述第一电极上形成吸收层；和

在所述吸收层上形成第二电极。

15.如权利要求14所述的方法，其中，在于所述无机层上形成所述第一电极的步骤中，当将所述第一电极沉积在具有所述多个第二凹凸的所述无机层上时，所述第一电极的表面进行自纹饰，因而形成了所述多个第三凹凸。