[发明专利]纳米贵金属颗粒改性二氧化锡气敏材料的制备方法

权利要求书

1.一种纳米贵金属颗粒改性二氧化锡气敏材料的制备方法，其特征在于：以贵金属粉、锡粉或贵金属与锡的合金粉末为原料，添加少量的其它元素为性能调整元素，原料经配料后在混料机中混合均匀；经过低温高能球磨机械合金化；将制备的复合粉体制成素坯，放入反应合成烧结炉内进行反应合成；随后溅射或沉积，制得的膜厚度为2-50微米。

2.根据权利要求1所述的纳米贵金属颗粒改性二氧化锡气敏材料的制备方法，其特征在于所述的贵金属粉为Ag，Au，Pt，Ru，Rh，Pd，Ir，Re中的两种或两种以上的混合物。

3.根据权利要求1所述的纳米贵金属颗粒改性二氧化锡气敏材料的制备方法，其特征在于所述的其它元素为V，Mn，Co，Ni，Zn，Nb，Mo，Al，Ce，La，In，Sb中的一种或几种，粉末粒度小于100微米，贵金属与锡的质量分数比控制在2-10％。

4.根据权利要求1所述的纳米贵金属颗粒改性二氧化锡气敏材料的制备方法，其特征在于所述的低温高能球磨机械合金化，磨球和磨罐采用刚玉或玛瑙材料制备，球磨气氛采用氩气保护，转速800-1500rad/min，球磨时间8-100小时，根据贵金属的含量调整球磨温度，温度范围：100-270K。

5.根据权利要求1所述的纳米贵金属颗粒改性二氧化锡气敏材料的制备方法，其特征在于所述的进行反应合成的反应合成烧结温度1000-1750℃，时间2-8小时。

6.根据权利要求1所述的纳米贵金属颗粒改性二氧化锡气敏材料的制备方法，其特征在于所述的溅射或沉积是指：采用玻璃衬底，抽真空，真空度约为10^-5-10^-2Pa，溅射或沉积速率为10^-2g/s，时间约为30-200分钟。

7.根据权利要求1所述的纳米贵金属颗粒改性二氧化锡气敏材料的制备方法，其特征在于所述的在混料机中的混料时间为1-3小时。