[发明专利]高纯液化气体的输送装置及其输送方法

权利要求书

1.一种高纯液化气体的输送方法，其特征在于，所述方法依次包括如下步骤：

将液化气体引出钢瓶，使其进入外接的蒸发器（1）；

将蒸发器（1）置于水浴箱（2）中，采用水浴加热使蒸发器（1）内部的液化气体在被汽化的同时得到纯化，再将高纯气体输送至使用端。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述蒸发器（1）为压力容器，内部设有导流筒（3），液化气体经导流筒（3）内壁进入蒸发器（1），水浴加热蒸发器（1）外壁使其内部的高纯液化气体蒸发，高纯气体再流经导流筒（3）外侧由蒸发器（1）上部出口流出。

3.一种实现权利要求1所述方法的输送装置，包括通过管道相连的钢瓶和蒸发器（1），其特征在于：所述蒸发器（1）置于水浴箱（2）中，所述蒸发器（1）为压力容器，内部设有导流筒（3），所述蒸发器（1）的入口处设置有介质进口阀门（10），出口处设置有介质出口阀门（11），所述蒸发器（1）底部设置排污阀门（12）；

所述水浴箱（2）上安装有电热丝（6）、数字温控仪表（7）和液位计（8），所述水浴箱（2）和自动补水装置（9）相连。

4.如权利要求3所述的高纯液化气体的输送装置，其特征在于，所述蒸发器（1）设置有旁通阀门（13）和安全泄压阀门（14）。

5.如权利要求3或4所述的高纯液化气体的输送方法，其特征在于，所述蒸发器（1）外壳为表面经电解抛光处理的不锈钢316L材质。