[发明专利]同步除尘装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种除尘装置，尤其涉及一种在激光发生器对非晶硅太阳能玻璃基板进行蚀刻时的除尘装置。

背景技术

在太阳能板制备过程中，尤其是非晶硅非晶硅太阳能玻璃基板制备过程中每一次镀膜后都需要用激光发生器对其进行激光蚀刻，蚀刻后如不清理蚀刻过程中产生的粉尘，则粉尘将沉积在蚀刻槽及电池板上，在下一次镀膜过程中这些粉尘将被覆盖，从而造成电池板上布局的线路发生短路；同时沉积在玻璃表面的粉尘也将影响下一次蒸镀过程中的薄膜厚度和均匀度，进而降低整块板的光电转换率。

目前，对激光刻线过程中产生的粉尘进行收集的方式主要有两种：第一种为大功率抽风机封闭环境引流方法，即将激光刻线工作平台用外罩封闭，利用安装在刻线非晶硅太阳能板两侧或其上方的大功率抽风机将封闭空间的气流引出，使粉尘随气流被抽风机抽出封闭空间；第二种为全覆盖式集风箱除尘方法，即是在刻线非晶硅太阳能板上方安装一个漏斗形或梯形的集风箱，再设置一抽风机与集风箱连通，上述集风箱的箱体完全罩住非晶硅太阳能板，利用抽风机将粉尘吸进集风箱中。

利用上述第一种大功率抽风机封闭环境引流方法对刻线过程中产生的粉尘进行收集处理，对于小面积非晶硅太阳能板表面薄膜及低速刻线具有一定的功效，然而对于如非晶硅薄膜太阳能板薄膜基片为1100毫米×1400毫米的大面积玻璃基板刻线时的粉尘就无法完全吸除，导致除尘效率低，一方面，很难形成大的封闭空间进而产生足够的引出气流；另一方面，必须引入大功率抽风机才能实现除尘的功能，而大功率抽风机会造成较大的噪声污染和能耗增加，同时封闭的空间不易于刻线散热，长时间的高温环境会加速布线的老化以及使电机寿命缩短，致使成本增加和构成安全隐患；利用上述第二种全覆盖式集风箱除尘方法，由于风向入口面积大使其整个面积内气流不均匀，造成局部粉尘清理不走，同样需要引入大功率抽风机；并且，无论是利用大功率抽风机封闭环境引流方式除尘，还是采用全覆盖式集风箱除尘式除尘方法都只能对刻线空间内的粉尘进行吸除，而对于因带有静电而吸附于薄膜表面和线槽中的粉尘则无法吸除，造成除尘不完全，导致除尘效率低，污染设备且影响产品良品率。

因此，急需一种使用小功率风机即可达到高效率除尘效果的除尘装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种使用小功率风机即可达到高效率除尘效果的同步除尘装置。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种同步除尘装置，适用于在激光发生器对非晶硅太阳能玻璃基板上的膜层表面进行蚀刻的过程中进行除尘，所述同步除尘装置包括控制单元、加工单元及除尘单元，所述加工单元及所述除尘单元均与所述控制单元连接，所述加工单元包括气浮平台、激光器轨道、激光器移动机构及激光发生器，所述非晶硅太阳能玻璃基板承载于所述气浮平台上方且膜层向下，所述激光发生器滑动设置于所述激光器轨道上，所述激光器移动机构带动所述激光发生器在所述激光器轨道上移动，所述激光发生器的出光孔位于所述非晶硅太阳能玻璃基板的上方，其中，所述除尘单元包括负压吸尘器及同步传动机构，所述同步传动机构设置于所述气浮平台的下方，所述负压吸尘器的负压吸嘴安装于所述同步传动机构上且正对所述激光发生器的出光孔，所述同步传动机构带动所述负压吸尘器的负压吸嘴与所述激光发生器的出光孔同步移动，实现对膜层的蚀刻与除尘同步。

较佳地，所述除尘单元还包括安装座，所述安装座设置于所述同步传动机构上，所述负压吸尘器的负压吸嘴安装于所述安装座上。

较佳地，所述同步传动机构包括电机、同步轮及同步带，所述同步带安装于所述同步轮上且与所述激光器轨道相互平行，所述电机与所述同步轮连接，所述电机通过所述同步轮带动所述同步带运动，所述安装座固定连接于所述同步带上，通过控制单元对电机速度的控制，使连接于同步带上的安装座始终保持与激光发生器的出光孔同步移动，进而使负压吸嘴实时地吸走蚀刻过程中产生的粉尘，提高除尘效率。

较佳地，所述加工单元还包括安装平台及至少两抓手，所述安装平台上设置有两相互平行的抓手轨道，所述抓手轨道位于所述激光器轨道下方且与所述激光器轨道相垂直，所述抓手分别滑动连接于两所述抓手轨道上，所述抓手用于抓取所述非晶硅太阳能玻璃基板并沿所述抓手轨道移动。

较佳地，所述加工单元还包括至少两直线气缸，所述直线气缸分别安装于所述抓手轨道上，直线气缸用于推动非晶硅太阳能玻璃基板。

较佳地，所述加工单元还包括滑动台，所述直线气缸及所述抓手均通过所述滑动台安装于所述抓手轨道上。