[发明专利]一种用于静电吸盘的多通道射频滤波器

权利要求书

1.一种用于静电吸盘的多通道射频滤波器，其特征在于，所述多通道射频滤波器包含整合在同一个多层绕组（10）中并可独立工作的若干电感滤波线圈。

2.如权利要求1所述用于静电吸盘的多通道射频滤波器，其特征在于，所述静电吸盘（20）顶部的介电层（21）中设置有若干加热元件（312）；其中若干所述电感滤波线圈在多层绕组（10）的一端，与该介电层（21）中的所述若干加热元件（312）对应连接。

3.如权利要求2所述用于静电吸盘的多通道射频滤波器，其特征在于，所述若干电感滤波线圈在所述多层绕组（10）的另一端，与若干温控电源（321）对应连接并分别对其滤波。

4.如权利要求2所述用于静电吸盘的多通道射频滤波器，其特征在于，所述若干电感滤波线圈在所述多层绕组（10）的另一端，与若干温度传感器的检控电路（322）对应连接，并分别为所述加热元件（312）的温度传感器检测信号进行滤波。

5.如权利要求1所述用于静电吸盘的多通道射频滤波器，其特征在于，所述静电吸盘（20）顶部的介电层（21）中设置有若干电极（311）；其中若干所述电感滤波线圈在多层绕组（10）的一端，与该介电层（21）中的若干电极（311）对应连接。

6.如权利要求5所述用于静电吸盘的多通道射频滤波器，其特征在于，所述若干电感滤波线圈在所述多层绕组（10）的另一端，与直流的若干吸持电源（323）对应连接并分别对其滤波。

7.如权利要求1所述用于静电吸盘的多通道射频滤波器，其特征在于，所述若干电感滤波线圈是将若干导线（11）相互聚拢后，一起绕制形成所述多层绕组（10）的结构。

8.如权利要求1所述用于静电吸盘的多通道射频滤波器，其特征在于，还包含一多层绕组（10）结构的封装部件（12），所述封装部件（12）中开设有若干通道；所述若干电感滤波线圈是将若干导线（11），对应穿设在该若干通道中形成的。

9.如权利要求1所述用于静电吸盘的多通道射频滤波器，其特征在于，所述若干电感滤波线圈是相互绝缘的。