[发明专利]涡轮分子泵的叶片结构改良

说明书

技术领域

本发明涉及一种涡轮分子泵的叶片结构改良，特别是涉及一种将转子叶片及定子叶片的各项参数做最佳化调整的涡轮分子泵的叶片结构改良。 

背景技术

近年来由于半导体产业蓬勃发展，因而造成半导体前段制程的相关设备需求量大增，其中高真空系统中的心脏组件-涡轮分子泵更成为需求量极大的高真空系统组件。 

涡轮分子泵(Turbo Molecular Pump)源于1912年，由德国人Gaede所发明的分子拖曳泵(Molecular Drag Pump)改良而来。首先请参阅图1所示，是一现有习知的涡轮分子泵A的剖面图示，该涡轮分子泵A是包含一转子A1及一定子A2，该转子A1由一转子轴A10及多个转子叶片A11所组成，而该定子A2由多个定子叶片A21所组成，并且转子叶片A11及定子叶片A21是一层层的交错设置。 

接着请参阅图2所示，是一涡轮分子泵的作用原理示意图，气体进入涡轮分子泵B1后，如虚线的路径所示，气体分子B5经由转子叶片B2的带动而进入下一层的定子叶片B3，而气体分子B5经由撞击定子叶片B3而转向之后，便可进入下一层的转子叶片B4。因此，涡轮分子泵B1的作用原理是利用高速旋转的倾斜叶片使系统中原本混乱运动的气体分子朝出口运动，并利用多级转子叶片与定子叶片的交错排列来提高其压缩比。由于涡轮分子泵具有高真空度、高排气效率以及无油气污染等特性，因此得以被广泛使用于各种研究及应用上。 

由于涡轮分子泵大量被应用于高精密度的研究或产业中，因此其抽气效能是非常被重视的。然而，虽然不断的有研究者对于涡轮分子泵进行改良，但是仍然无法达到非常优良的抽气速度及稳定度。 

有鉴于此，必须提供一种改良的涡轮分子泵，借此其结构上的优化设计，以增加其抽气速度及稳定度。 

由此可见，上述现有的涡轮分子泵的叶片结构在制造方法及使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般方法及制造方法又没有适切的方法及制造方法能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一 种新的涡轮分子泵的叶片结构改良，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。 

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的涡轮分子泵的叶片结构存在的缺陷，而提供一种新的涡轮分子泵的叶片结构改良，所要解决的技术问题是使其借此将转子叶片及定子叶片的各项参数进行最佳化的调整，使涡轮分子泵的抽气速度及稳定度皆有显著的提升，非常适于实用。 

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一转子，其包含：一转子中心轴；一第一级转子叶片组，是设置于该转子中心轴上，该第一级转子叶片组的叶片数量为16-17片，设置角度为37度-45度；一第二级转子叶片组，是设置于转子中心轴上，并邻接于第一级转子叶片组，该第二级转子叶片组的叶片数量为32-33片，设置角度为45度-50度；一第三级转子叶片组，是设置于转子中心轴上，并与第一级转子叶片组分别位于第二级转子叶片组的不同侧，该第三级转子叶片组的叶片数量为30-31片，设置角度为30度-40度；一第四级转子叶片组，是设置于转子中心轴上，并与第二级转子叶片组分别位于第三级转子叶片组的不同侧，该第四级转子叶片组的叶片数量为28-29片，设置角度为25度-30度；及一第五级转子叶片组，是设置于转子中心轴上，并与第三级转子叶片组分别位于第四级转子叶片组的不同侧，该第五级转子叶片组的叶片数量为26-27片，设置角度为15度-22度；及一定子，其包含：一第一级定子叶片组，是设置于第一级转子叶片组与第二级转子叶片组之间，该第一级定子叶片组的叶片数量为50-52片，设置角度为45度-70度；一第二级定子叶片组，是设置于第二级转子叶片组与第三级转子叶片组之间，该第二级定子叶片组的叶片数量为50-52片，设置角度为48度-70度；一第三级定子叶片组，是设置于第三级转子叶片组与第四级转子叶片组之间，该第三级定子叶片组的叶片数量为50-52片，设置角度为40度-70度；一第四级定子叶片组，是设置于第四级转子叶片组与第五级转子叶片组之间，该第四级定子叶片组的叶片数量为34-36片，设置角度为28度-40度；及一第五级定子叶片组，是与该第四级定子叶片组分别设置于第五级转子叶片组的不同侧，该第五级定子叶片组的叶片数量为34-36片，设置角度为22度-40度。 

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。