[发明专利]一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法有效
| 申请号： | 201010591903.3 | 申请日： | 2010-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102070144A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 李世江;侯红军;杨华春;于贺华;薛旭金;刘海霞;孙永明;王慧;施秀华 | 申请（专利权）人： | 多氟多化工股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/029 | 分类号： | C01B33/029;C01B33/021 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 陈浩 |
| 地址： | 454191 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 磷肥 副产物 硅酸钠 生产 多晶 方法 | ||
1.一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法，其特征在于，以磷肥副产物氟硅酸钠热解得到的四氟化硅和四氢铝钠为原料制得硅烷，硅烷裂解制得多晶硅。
2.根据权利要求1所述的一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法，其特征在于，具体步骤如下所述：（1）磷肥副产物氟硅酸钠在700℃～900℃下进行热解，生成氟化钠和四氟化硅气体；（2）将质量比为(1～5)︰1的四氢铝钠和四氟化硅在50℃～150℃、二醇二甲醚与甲苯的混合溶剂中反应，制得硅烷和四氟铝钠；（3）硅烷通过分子筛提纯系统，得到高纯度的硅烷；（4）提纯后的硅烷在700℃～1000℃下裂解生成多晶硅和氢气。
3.根据权利要求2所述的一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法，其特征在于，四氢铝钠是由四氟铝钠和氢气在200℃～600℃，钯、镍催化剂作用下反应生成。
4.根据权利要求3所述的一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法，其特征在于，四氟铝钠以粘土、工业盐、盐酸为原料，在70℃～90℃下浸取0.5～3h，后过滤，滤液与氢氟酸反应制得。
5.根据权利要求2所述的一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法，其特征在于，四氢铝钠和四氟化硅反应得到的四氟铝钠循环利用。
6.根据权利要求2所述的一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法，其特征在于，硅烷裂解得到的氢气循环用于生产四氢铝钠。
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