[发明专利]一种透镜焦距及波前畸变测量装置

权利要求书

1.一种透镜焦距及波前畸变测量装置，其特征在于：所述透镜焦距及波前畸变测量装置包括激光器、半透半反平面镜、平面反射镜以及焦距及波前畸变控制单元；所述半透半反平面镜和平面反射镜依次设置于激光器出射光路上；所述焦距及波前畸变控制单元设置于经平面反射镜反射至半透半反平面镜上并沿半透半反平面镜反射后的反射光路上。

2.根据权利要求1所述的透镜焦距及波前畸变测量装置，其特征在于：所述焦距及波前畸变控制单元包括控制与采集计算机、测角仪以及焦距及波前畸变测量单元；所述控制与采集计算机与测角仪相连；所述控制与采集计算机控制测角仪带动平面反射镜转动并记录平面反射镜转动的角度值；所述焦距及波前畸变测量单元设置于经平面反射镜反射至半透半反平面镜上并沿半透半反平面镜反射后的反射光路上；所述焦距及波前畸变测量单元和控制与采集计算机相连。

3.根据权利要求2所述的透镜焦距及波前畸变测量装置，其特征在于：所述焦距及波前畸变测量单元包括CCD探测器、哈特曼传感器以及电控平移台；所述CCD探测器设置于经平面反射镜反射至半透半反平面镜上并沿半透半反平面镜反射后的反射光路上；所述CCD探测器采集经半透半反平面镜反射后光束并判读计算待测透镜的焦距；所述哈特曼传感器采集半透半反平面镜反射后光束的波前图像；所述CCD探测器以及哈特曼传感器置于电控平移台上；所述电控平移台和控制与采集计算机相连；所述采集与控制计算机控制电控平移台带动哈特曼传感器运动。

4.根据权利要求3所述的透镜焦距及波前畸变测量装置，其特征在于：所述焦距及波前畸变测量单元还包括准直镜，所述准直镜设置于哈特曼传感器之前。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的透镜焦距及波前畸变测量装置，其特征在于：所述激光器与CCD探测器相距半透半反镜中心的距离是相等的。

6.根据权利要求5所述的透镜焦距及波前畸变测量装置，其特征在于：所述激光器是光纤激光器。

7.根据权利要求6所述的透镜焦距及波前畸变测量装置，其特征在于：所述CCD探测器是全帧光谱级科学CCD、帧转移科学CCD、L3Vision相机或COMS图像传感器。

8.根据权利要求7所述的透镜焦距及波前畸变测量装置，其特征在于：所述测角仪是0.05秒电控精密转台或0.01秒电控测角仪。