[发明专利]控制传送的方法和装置、以及传送装置和加工设备

说明书

技术领域

本发明属于光伏领域，涉及被加工工件的控制传送的方法、控制传送的装置、传送装置以及太阳能电池片加工设备。

背景技术

随着石油、煤炭等常规能源的枯竭，人类面临的能源危机日益严峻，太阳能被认为是取之不尽的可再生能源，其储量丰富，是人类理想地替代能源之一。近年来光伏技术的飞速发展，特别是光伏薄膜太阳能电池片的关键技术的突破，加快了太阳能的开发利用，同时也促进了太阳能电池片的相关生产设备的升级改造。

太阳能电池片的相关生产设备有PECVD(等离子体增强化学气相沉积)设备、LPCVD(低压化学气相沉积)设备以及CVD(化学气相沉积)设备等，其中，PECVD设备应用比较广泛。在利用PECVD设备生产太阳能电池片的过程中，电池片是通过太阳能电池片传送装置载入工艺腔室内，以进行工艺处理。

图1为太阳能电池片传送装置结构简图。请参阅图1，传送装置包括传输系统、升降台14以及机械手15，传输系统包括料盒输入传送带11、料盒输出传送带12、电池片传送带13以及料盒载具19。为了避免料盒以及料盒内的电池片受到损伤，料盒被固定在料盒载具19上(为了便于描述，下文将料盒和料盒载具统称为料盒组件)，然后将料盒组件放置在料盒输入传送带11上进行传输；料盒输入传送带11用于将装载有电池片的料盒组件16a、16b、16c从装载新料盒的起始位置(图中未示出)传输至升降台14；料盒输出传送带12用于将空料盒组件16d、16e由升降台14传输至卸载位置；电池片传送带13用于将电池片传输至工艺腔室。升降台14位于料盒输入传送带11和电池片传送带13之间，其包括升降台传送带17和丝杠18，丝杠18可以带动升降台传送带17在其轴向移动。机械手15用于从放置在升降台传送带17上的料盒组件中取出电池片并将电池片放置在电池片传送带13上。

上述传送装置的具体工作过程为：首先由操作员将装载有电池片的料盒组件放置在料盒输入传送带11上；然后由料盒输入传送带11将料盒组件传输至靠近升降台14的位置；与此同时，升降台14升起，并使升降台传送带17的上表面与料盒输入传送带11的上表面处于同一水平面，料盒输入传送带11与升降台传送带17同时传动，料盒组件完全放置在升降台传送带17上；机械手15从料盒组件中取出电池片并将其放置在电池片传送带13上，再由电池片传送带13放入工艺腔室内；当料盒组件内的电池片被取尽后，升降台14下降，使升降台传送带17的上表面与料盒输出传送带12的上表面处于同一水平面，空料盒组件16d、16e由料盒输出传送带12输出。操作员将空料盒组件16d、16e取出，并将新料盒组件放置在料盒输入传送带11上，然后进行下一轮的操作。

在实际操作过程中，如果两个料盒组件相距较近，则上述传送装置可能出现两个料盒组件同时涌入升降台传送带17的情况，这将导致工艺过程的中断。为此，技术人员对上述传送装置进行了改进。图2为改进后的太阳能电池片传送装置的结构简图，图3为改进后的太阳能电池片传送装置的料盒输入传送带和升降台部分的俯视图。请一并参阅图2和图3，改进后的传送装置增设了两个阻挡气缸及与其配合使用的传感器，阻挡气缸和传感器设置在料盒输入传送带11的下方。阻挡气缸升起时，其顶端高出料盒输入传送带11的上表面；阻挡气缸降下时，其顶端低于料盒输入传送带11的上表面。而且，第一阻挡气缸20a设置在靠近升降台14的位置，其与第一传感器21a配合使用，用于阻挡第一料盒组件16a继续向前传输；第二阻挡气缸20b设置在远离升降台14的位置，其与第二传感器21b配合使用，用于阻挡第二料盒组件16b和第三料盒组件16c继续向前传输。如图4所示，为了便于传感器辨别料盒组件的数量和位置，在料盒载具19的一端还设有豁口19′，传感器借助料盒载具19上的豁口19′既可辨别料盒的数量及位置。