[发明专利]基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器

权利要求书

1.一种基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，包括基座(4)、特性一致的三块分别安装两个微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)的传感器电路板(3)、数据采集与处理电路板(2)和盖板(1)，其特征在于：基座(4)上有三个相互垂直的表面作为三块传感器电路板(3)的安装平面；每块传感器电路板(3)上表面安装两个微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)，并保证两个微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)关于传感器电路板(3)表面中线对称且敏感轴线相互垂直，各自敏感质心到垂足的距离均为l，l为六维加速度传感器的尺度参数；各传感器电路板(3)固定在所述安装平面上并与所述安装平面定位，保证在不同传感器电路板上且相邻两微型单轴加速度敏感单元/传感器的敏感轴线相互垂直且共面，同时各自敏感质心到垂足的距离均为l。

2.根据权利要求1所述的基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，其特征在于：所述各传感器电路板(3)与所述安装平面的定位通过各传感器电路板(3)定位孔或与所述安装平面垂直的面保证。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，其特征在于：所述相互垂直的安装平面通过在一块实体的基座(4)上切削出与基座水平底面夹125.3。角且关于实体中心轴对称的三个平面得到。

4.根据权利要求3所述的一种基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，其特征在于：所述切削为保留柱体侧面从顶面朝柱体内部切削，使形成的三个安装平面为相对于柱体侧面内陷的平面。

5.根据权利要求3所述的一种基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，其特征在于：所述切削为从柱体侧面向中心的切削，使形成的三个安装平面为相对于柱体底面外凸的平面。

6.根据权利要求1-3之一所述的一种基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，其特征在于：微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)为基于MEMS技术的微型单轴加速度敏感元件或基于MEMS技术的微加速度传感器。

7.根据权利要求4所述的一种基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，其特征在于：微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)为基于MEMS技术的微型单轴加速度敏感元件或基于MEMS技术的微加速度传感器。

8.根据权利要求5所述的一种基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，其特征在于：微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)为基于MEMS技术的微型单轴加速度敏感元件或基于MEMS技术的微加速度传感器。

9.根据权利要求4或7所述的一种基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，其特征在于：所述微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)的敏感质心到传感器电路板(3)下表面的距离为h，两微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)的敏感轴线的垂足到传感器电路板3下边缘的距离为d，各安装平面下边缘到三个安装平面的交点O点的距离为c，满足：

10.根据权利要求5或8所述的一种基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，其特征在于：所述微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)的敏感质心到传感器电路板(3)下表面的距离为h，两微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)的敏感轴线的垂足到传感器电路板3下边缘的距离为d，各安装平面上边缘到三个安装平面的交点P点的距离为e，满足