[发明专利]一种带二段式保温隔热笼的晶体硅铸锭炉热场结构无效
申请号: | 201010590032.3 | 申请日: | 2010-12-14 |
公开(公告)号: | CN102002755A | 公开(公告)日: | 2011-04-06 |
发明(设计)人: | 廖永建;徐炜;沈禹;张同强;孙矿 | 申请(专利权)人: | 上海晨华电炉有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 上海京沪专利代理事务所(普通合伙) 31235 | 代理人: | 沈美英 |
地址: | 201804 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二段式 保温 隔热 晶体 铸锭 炉热场 结构 | ||
1.一种带二段式隔热笼的晶体硅铸锭炉热场结构,包含有炉体(1)、与水冷电极(2)相连的发热体(3)、保温隔热笼(4)、上设有坩埚(5)和下带支柱(6)的热交换台(7),其特征在于保温隔热笼(4)呈二段式,由固定设置在炉体顶部位置上的上隔热笼(8)和固定设置在炉体底部升降装置(9)上的下隔热笼(10)组合构成,其中:
a.所述的上隔热笼(8)主体呈倒扣的桶型,由互连呈一体的顶部保温板(11)和下边沿设置有内翻式L形上隔热环(12)的上侧保温筒(13)构成,顶部保温板(11)的内表面上衬设有便于热量反射后聚焦于坩埚内的内凹式、由具有较强热反射能力的钼或钨箔片充任的弧形反射罩(14);
b.所述的下隔热笼(10)主体呈正立桶型,与上隔热笼(8)相对应,由互连呈一体的底部保温板(15)和上边沿设置有L形内翻式下隔热环(16)的下侧保温筒(17)构成,下隔热笼(10)固定设置在炉体底部受外控的升降装置(9)上;
c.所述的上隔热环(12)和下隔热环(16)设置在发热体(3)和热交换台(7)之间,将保温隔热笼(4)的内腔分隔、形成上部高温区(18)和下部低温区(19)。
2.根据权利要求1所述的带二段式隔热笼的晶体硅铸锭炉热场结构,其特征在于所述的上隔热笼(8)为固定式,下隔热笼(10)为可移式,晶体硅生产所需热场通过升降装置(9)调节下隔热笼(10)的升降开度实现。
3.根据权利要求1所述的带二段式隔热笼的晶体硅铸锭炉热场结构,其特征在于所述的下隔热笼(10)上面呈桶形,可用作漏硅发生时的承接器,下隔热笼内设有热熔断器或热电偶,可以及早发现漏硅。
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