[发明专利]一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法

权利要求书

1.一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：将待洗硅料置于由混合酸和强氧化剂组成的混合溶液中。

2.如权利要求1所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的黄色烟雾的化学成分是氮氧化物。

3.如权利要求2所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的氮氧化物是二氧化氮气体。

4.如权利要求2所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的氮氧化物是二氧化氮和一氧化二氮、一氧化氮、四氧化二氮中的混合气体。

5.如权利要求1所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的混合酸包含：氢氟酸硝酸、氢氟酸和硝酸。

6.如权利要求5所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的其他酸是无机酸，可以是盐酸、磷酸、硫酸的组合。

7.如权利要求5所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的其他酸是无机酸，可以是盐酸。

8.如权利要求5所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的其他酸是有机酸，可以是甲酸、乙酸、丙酸的组合。

9.如权利要求5所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的其他酸是有机酸，可以是丙酸。

10.如权利要求5所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的其他酸是无机酸和有机酸的组合，可以是盐酸、磷酸、硫酸跟甲酸、乙酸、丙酸中的组合。

11.如权利要求5所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的其他酸是无机酸和有机酸的组合，可以是磷酸跟甲酸的组合。

12.如权利要求1所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的强氧化剂是标准电极电势高于硝酸的氧化剂。

13.如权利要求9所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的氧化剂是过氧化物，可以是过氧化氢和过氧乙酸中的混合。

14.如权利要求9所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的氧化剂金属氧化物，可以是二氧化铅、二氧化锰、二氧化钴的混合。

15.如权利要求9所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的氧化剂金属氧化物，可以是二氧化铅。

16.如权利要求9所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的氧化剂是盐类，可以是高锰酸钾、重铬酸钾、氯酸钾的混合。

17.如权利要求9所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的氧化剂是盐类，可以是高锰酸钾。

18.如权利要求9所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的氧化剂是气体，可以是臭氧、氯气、氟气的混合。

19.如权利要求9所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的氧化剂是气体，可以是氯气。

20.如权利要求4所述的一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：所述的加入的强氧化剂的浓度为溶液浓度的30%。

21.一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其中：将待洗硅料置于由混合酸和强氧化剂组成的混合溶液中；混合溶液配置如下：取体积浓度为49%的氢氟酸、体积浓度为68%的硝酸、体积浓度为35%的过氧化氢及纯水，按其体积配比为氢氟酸：硝酸：过氧化氢：纯水=1：1：1：2配成腐蚀溶液，盛装该腐蚀溶液的槽是采用耐腐蚀的聚四氟乙烯材料制成的；先将硅料置于纯水槽中冲洗，去除一些如污泥、灰尘等杂质，再将硅料置于按上述方法配成的腐蚀溶液中，并结合超声波的作用，控制溶液的温度在20℃-50℃之间，清洗30min-60min左右，再将硅料置于纯水槽中冲洗，待溶液呈中性时，捞起硅料，烘干，并进行包装，即可再次用作铸造多晶硅或直拉单晶硅的原料。且经盐酸萘乙二胺分光光度法测定后，洗后硅料产生的黄色烟雾中氮氧化物的浓度比原始浓度都降低了95%以上。