[发明专利]制造并密封真空玻璃中排气口的方法及系统

权利要求书

1.一种制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：所述的方法包括一个在真空玻璃中制作排气口的过程、一个制作玻璃密封塞的过程和一个利用所述的玻璃密封塞密封所述的排气口的过程，在所述的在真空玻璃中制作排气口的过程中，利用激光直接在平板玻璃中逐层三维雕刻形成通孔，在所述的制作玻璃密封塞的过程中，利用激光在玻璃块上三维雕刻形成塞体，所述的塞体的形状与所述的通孔的形状匹配，在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，将塞体放入通孔内，然后利用激光对塞体与通孔进行焊接密封，在制作玻璃密封塞的过程中，在塞体表面敷设密封剂，或者在利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，在塞体与通孔之间敷设密封剂。

2.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的在真空玻璃中制作排气口的过程中，激光的波长范围在200nm到2000nm之间，激光的脉冲宽度在0.1ns和100ns之间。

3.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：构成玻璃密封塞的玻璃的物理性能与构成真空玻璃的玻璃的物理性能相同或者接近。

4.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：所述的排气口的轴向截面形状是锥型、或者T型、或者楔型，所述的玻璃密封塞的轴向截面形状相应地为锥型、或者T型、或者楔型。

5.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：所述的密封剂是低熔点金属合金、或者低熔点玻璃微粉。

6.如权利要求5所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：所述的密封剂是锡锌合金、或者氧化硼-氧化钛-氧化锌玻璃微粉。

7.如权利要求5所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的制作玻璃密封塞的过程完成之后，将所述的低熔点金属合金、或者低熔点玻璃微粉利用镀膜或喷涂方法直接成膜于玻璃密封塞表面。

8.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，将激光从真空玻璃的背面透过玻璃在真空状态下焊接密封排气口。

9.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，用于焊接的激光的波长范围是300nm到2500nm。

10.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，以真空玻璃排气口为中心在真空玻璃上设置一个真空吸盘，在所述的真空吸盘的顶部设置一个电磁线圈，将玻璃密封塞胶合安装在一个磁棒的下端，将磁棒和玻璃密封塞设置在真空吸盘的内腔中，将玻璃密封塞对准排气口，利用真空吸盘对排气口产生真空，利用电磁线圈通电驱动磁棒向下运动，使玻璃密封塞准确塞入排气口中。

11.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，利用一个振镜系统控制焊接激光束沿密封路径高速运动，均匀加热密封剂，减少热应力。

12.一种实现如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法的系统，包括激光雕刻装置、激光焊接装置、真空吸盘和玻璃密封塞安装装置，其特征在于：所述的激光雕刻装置由激光器、激光电源控制器和第一振镜系统以及计算机构成，所述的激光焊接装置由一个激光系统和第二振镜系统构成，所述的真空吸盘内侧设置有空腔，所述的玻璃密封塞安装装置由一个支架和一个磁棒构成，所述的磁棒通过滑动副与所述的支架连接，玻璃密封塞安装装置设置在真空吸盘内侧的空腔中，真空吸盘通过连接管与一个真空泵相连，真空吸盘的顶部设置有电磁线圈，所述的激光焊接装置设置在真空吸盘和玻璃密封塞安装装置的下方。

13.如权利要求12所述的制造并密封真空玻璃中排气口的系统，其特征在于：所述的真空吸盘由不锈钢材料制成，真空吸盘的底部周边设置有真空橡皮密封环。