[发明专利]氧化物蒸镀材料和高折射率透明膜有效
| 申请号: | 201010583539.6 | 申请日: | 2010-12-07 |
| 公开(公告)号: | CN102134700A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
| 发明(设计)人: | 阿部能之;和气理一郎;桑原正和;前野泰行 | 申请(专利权)人: | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/24;G02B1/11;G02B11/00 |
| 代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 菅兴成;吴小瑛 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 氧化物 材料 折射率 透明 | ||
1.一种氧化物蒸镀材料,其特征在于,
由以氧化铟作为主要成分且含有铈的烧结体构成,并且,铈的含量以Ce/In原子数比为超过0.110且0.538以下,CIE1976色系中的L*值为62~95。
2.一种高折射率透明膜,其特征在于,
采用氧化物蒸镀材料作为原料,通过电子束蒸镀法、离子镀法或者高密度等离子辅助蒸镀法得以成膜,并且铈的含量以Ce/In原子数比为超过0.110且0.538以下,同时波长550nm下的折射率为2.15~2.51,
其中,所述氧化物蒸镀材料是由以氧化铟作为主要成分且含有铈的烧结体构成,并且,铈的含量以Ce/In原子数比为超过0.110且0.538以下,CIE1976色系中的L*值为62~95。
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