[发明专利]等离子体发生器

权利要求书

1. 一种等离子体发生器，其被提供有圆柱形腔室部分，该圆柱形腔室部分具有圆柱电极（1）；孔板（4），其设置在所述圆柱形腔室部分中以便将所述圆柱形腔室部分分隔成具有进气口（10）的第一腔室（2）和具有排气口（11）的第二腔室（3）；杆状电极（5），其设置在所述第二腔室（3）内部并位于所述圆柱电极（1）的中心轴处，以及子电极（6），其设置在所述第一腔室（2）处并且能够施加与所述圆柱电极（1）不同的电势，

所述等离子体发生器在所述圆柱电极（1）与所述杆状电极（5）之间施加电场以产生等离子体，

进一步在所述圆柱电极（1）和所述子电极（6）之间分离地施加电场以产生与在所述杆状电极（5）和所述圆柱电极（1）之间产生的等离子体分离的等离子体，以及

具有通过所述孔板（4）的孔连接的所述第一腔室（2）和所述第二腔室（3）的等离子体区域。

2. 如权利要求1所述的等离子体发生器，其中在所述杆状电极（5）和所述圆柱电极（1）之间产生的等离子体是辉光放电，并且在所述圆柱电极（1）和所述子电极（6）之间产生的等离子体是辉光放电或弧光放电。

3. 如权利要求1所述的等离子体发生器，其中所述第二腔室（3）的压力低于所述第一腔室（2）的压力。

4. 如权利要求1所述的等离子体发生器，其中所述第二腔室（3）的压力是300Pa至101kPa的压力。

5. 如权利要求1所述的等离子体发生器，其中从所述进气口（10）引入的气体是稀有气体、烃和氧气中的任何一种，或者是两种或多种上述气体的组合。

6. 如权利要求1所述的等离子体发生器，其中从所述进气口（10）引入的气体是Ar、He、N₂、O₂、H₂、CH₄、C₂H₂、C₂H₄、C₃H₈、CF₄、C₂F₆、SF₆、SiH₄、SiH₃Cl、SiH₂Cl₂、Si(CH₃)₄和(CH₃)₃Si-NH-Si(CH₃)₃中的任何一种，或者是两种或多种上述气体的组合。

7. 如权利要求1至6中任一项所述的等离子体发生器，其利用DLC来涂敷所述杆状电极（5）的表面。

8. 如权利要求1至6中任一项所述的等离子体发生器，其在所述第二腔室（3）的内部设置圆柱体（12）以便与所述圆柱电极（1）导电，并且其中圆柱体（12）的内圆周表面的中心轴设置在所述圆柱电极（1）的中心轴处。

9. 如权利要求8所述的等离子体发生器，其利用DLC来涂敷所述圆柱体（12）的内圆周表面。