[发明专利]有机EL显示装置有效
申请号: | 201010578231.2 | 申请日: | 2007-02-09 |
公开(公告)号: | CN102104056A | 公开(公告)日: | 2011-06-22 |
发明(设计)人: | 松馆法治;大河原健;梶山健太 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立显示器 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 el 显示装置 | ||
本申请是申请日为2007年2月9日、申请号为200710005531.X、发明名称为“有机EL显示装置”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及有机EL显示装置,尤其涉及其中的有机层的蒸镀。
背景技术
有机EL显示装置的有机层的制膜方法有印刷法、蒸镀法。在使用了低分子有机材料的有机EL显示装置中实际应用的主要是蒸镀法。另外,上部电极也同样通过蒸镀而成膜的技术已成为主流。
以往的有机膜的层叠结构,由作为下部电极的阳极电极、空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、LiF/Al的作为上部电极兼电子注入层的阴极电极构成。
另外,作为有机层的形成方法,已知有这样的方法,即在应用使之具有因像素而异的发光层的分涂法时,将阳极电极、空穴注入层、空穴输送层、阴极电极作为全部像素公用的连续膜成膜,并按要发光的各像素分别涂敷电子输送层、发光层。
发明内容
本发明人研究了一种底部发射式的有源矩阵式有机EL显示装置的结构。正在进行该研究的底部发射式的有源矩阵式有机EL显示装置的结构如下,将成为上部电极的阴极的金属在有机膜的正上方成膜,并且为了向该阴极提供电压,通过触排(bank)的接触孔与设置在电路基板的布线的电极(阴极触点)连接。
以往,利用蒸镀掩模进行蒸镀的精度低,因此没有在像素附近配置接触用的接触孔。本来,阴极触点的配置从防止阴极电压下降这层意义来看,尽量多、并且离像素近为好。另外,考虑到设计自由度,可配置的区域越多越好。
以往的蒸镀掩模特别是在其开口端部蒸镀精度较低,要实现在显示像素均匀地成膜,就必需在远大于显示像素区域和虚设像素区域的区域蒸镀有机层。
本发明的目的在于提供一种有机EL显示装置的结构,即使在显示像素和虚设像素之外的蒸镀面积小也能提高蒸镀精度和设计自由度。
本发明人注意到蒸镀精度的降低是由蒸镀掩模引起的。通常,为了蒸镀有机EL显示装置的有机发光层,使用施加张力以将掩模保持为平面的张力掩模。为了确保张力掩模的精度,适当地保持对掩模施加的张力很重要。这里,蒸镀掩模是这样制作的:对厚度为50-200μm的、被实施了精密加工的金属掩模片施加预定张力使其保持为平面,并将该金属掩模片与外形形状为500mm×400mm宽度为50mm厚度为25mm的金属制的掩模框进行粘接。
蒸镀掩模被设计为,能够利用在薄板上加工出的致密的开孔对有机EL显示装置的基板上的预定的位置进行高精度的蒸镀。在该蒸镀掩模上,由于蒸镀处理中的热应力的施加,将产生微小的变形,发生蒸镀偏移。
图1表示以往的蒸镀掩模的列方向的端部。如图1所示,以往的蒸镀掩模M-MET1的开口M-APR1的端部M-EDGR1的形状呈矩形。矩形的开口,在该开口的两个顶点M-EDG1应力集中。在这样的结构中,在端部产生的掩模的变形较大,考虑了变形的掩模设计非常困难。在掩模组装工序或蒸镀处理中各种应力产生在掩模上时,应力集中在掩模的开口。此时,产生于掩模的应力集中的部位是掩模端部,并且是该端部的角部。这里,当掩模端部为方形时应力集中的地方有两处,成为掩模精度低的因素。
因此,本发明人提供一种有机EL显示装置,矩阵状地配置有多个有机EL元件,该有机EL元件具有阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机层,在上述多个有机EL元件包括发不同颜色光的有机EL元件的情况下,使上述有机层的至少一层,在其列方向的端部,其蒸镀的行方向的宽度向最端部逐渐缩小地构成。
根据本发明,能够提高蒸镀精度,并能够提高设计自由度。
附图说明
图1是表示以往的蒸镀掩模的列方向的端部的图。
图2是表示使用了本发明的蒸镀掩模的列方向的端部的图。
图3是使用图2的蒸镀掩模进行蒸镀后的有机层的俯视图案。
图4是表示以往的有机EL显示装置的有源矩阵基板的阴极接触部的剖视图的图。
图5是表示第2实施例的有机EL显示装置的有源矩阵基板的阴极接触部的剖视图的图。
图6是表示第3实施例的有机EL显示装置的蒸镀区域的图。
图7是图6的圆区域(像素区域的左上端部)的放大图。
图8是表示第4实施例的有机EL显示装置的蒸镀区域的图。
图9是表示第5实施例的有机EL显示装置的蒸镀区域的图。
图10是表示第6实施例的有机EL显示装置的蒸镀区域的图。
具体实施方式
以下说明本发明的实施例。
[实施例1]
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的