[发明专利]氢氟酸处理系统无效

专利信息
申请号: 201010578137.7 申请日: 2010-12-08
公开(公告)号: CN102569008A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 杨龙;殷建伟 申请(专利权)人: 无锡华润上华科技有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214028 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 氢氟酸 处理 系统
【权利要求书】:

1.一种氢氟酸处理系统,包括反应器、延伸入所述反应器内的电极、手动阀及与所述反应器连接并延伸入反应器内的管道,所述手动阀设于所述管道上用于控制所述管道内的流体,其特征在于:所述管道上还设有一电磁阀及一时间控制装置,所述时间控制装置与所述电磁阀连接。

2.如权利要求1所述的氢氟酸处理系统,其特征在于:所述电极包括一长条形的电极导杆及位于所述电极导杆一端的电极探头。

3.如权利要求2所述的氢氟酸处理系统,其特征在于:所述电极导杆的另一端连接有通电线缆。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的氢氟酸处理系统,其特征在于:所述时间控制装置包括相互串联在一起的一计时器、一继电器及一开关。

5.如权利要求4所述的氢氟酸处理系统,其特征在于:所述反应器呈圆筒形,并设有一圆形封盖。

6.如权利要求5所述的氢氟酸处理系统,其特征在于:所述管道内的流体依次经过所述手动阀、电磁阀后进入所述反应器内。

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