[发明专利]基板输送装置和基板处理系统

权利要求书

1.一种基板输送装置，其支撑并输送基板，其特征在于，包括：

第一部件；

相对于该第一部件能够滑动地设置的、支撑基板的第二部件；和

构成为在使所述第二部件滑动的滑动部位和外部的基板输送空间之间形成窄路的形状，用于防止在所述滑动部位产生的污染源物质向所述基板输送空间扩散的扩散防止部件。

2.一种基板输送装置，其通过具有多个支撑部件的基板保持件支撑并输送基板，其特征在于：

所述支撑部件具有：

主体；

相对于该主体能够滑动地设置的、支撑基板的可动部件；和

构成为在使所述可动部件滑动的部位和外部的基板输送空间之间形成窄路的形状，用于防止在所述滑动部位产生的污染源物质向所述基板输送空间扩散的扩散防止部件。

3.如权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于：

在所述主体上，以在与所述可动部件的滑动方向正交的方向上伸出的方式设置有所述扩散防止部件。

4.如权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于：

以覆盖所述可动部件的侧面的一部分或者全部的方式设置有所述扩散防止部件。

5.如权利要求4所述的基板输送装置，其特征在于：

所述扩散防止部件具有底壁部和从该底壁部立起设置并覆盖所述可动部件的侧面的一部分或者全部的侧壁部。

6.如权利要求5所述的基板输送装置，其特征在于：

所述可动部件包括具有支撑基板的支撑面的支撑部和从该支撑部向两侧下方垂下的一对折弯侧板部，

以从外侧至少覆盖所述折弯侧板部的下端的方式，与所述折弯侧板部接近地设置有所述扩散防止部件。

7.如权利要求6所述的基板输送装置，其特征在于：

所述主体具有能够滑动地引导所述可动部件的引导部件，在所述主体的长度方向上，以该引导部件的长度以上的长度设置有所述扩散防止部件。

8.如权利要求7所述的基板输送装置，其特征在于：

以包围所述引导部件的端部的方式，在所述主体上设置有一对围绕部件。

9.一种基板输送装置，其通过具有多个支撑部件的基板保持件支撑并输送基板，其特征在于：包括

在水平方向上能够滑动地支撑所述基板保持件的滑动基部；和

构成为在使所述基板保持件滑动的滑动部位和外部的基板输送空间之间形成窄路的形状，用于防止在所述滑动部位产生的污染源物质向所述基板输送空间扩散的扩散防止部件。

10.如权利要求9所述的基板输送装置，其特征在于：

在所述滑动基部，以在与所述基板保持件的滑动方向正交的方向上伸出的方式设置有所述扩散防止部件。

11.如权利要求9或10所述的基板输送装置，其特征在于：

所述基板保持件具有与所述滑动基部之间能够滑动地连接的连接部件。

12.如权利要求11所述的基板输送装置，其特征在于：

以覆盖所述连接部件的侧面的一部分或者全部的方式，与所述连接部件接近地设置有所述扩散防止部件。

13.如权利要求12所述的基板输送装置，其特征在于：

所述滑动基部具有能够滑动地引导所述连接部件的引导部件，在所述滑动基部的长度方向上，以该引导部件长度以上的长度设置有所述扩散防止部件。

14.如权利要求1至10中任一项所述的基板输送装置，其特征在于：

在所述扩散防止部件的内壁面具有吸附材料层。

15.如权利要求14所述的基板输送装置，其特征在于：

所述吸附材料层由粘着性部件构成。

16.如权利要求14所述的基板输送装置，其特征在于：

所述吸附材料层由吸液性部件构成。

17.一种基板处理系统，其特征在于：

具有权利要求1至10中任一项所述的基板输送装置。